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龙图腾网获悉东南大学申请的专利一种面向紫外波段光刻工艺的同构四芯空芯反谐振光纤获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120762155B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511278186.1，技术领域涉及：G02B6/02；该发明授权一种面向紫外波段光刻工艺的同构四芯空芯反谐振光纤是由刘雪明;陈晨;朱威设计研发完成，并于2025-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种面向紫外波段光刻工艺的同构四芯空芯反谐振光纤在说明书摘要公布了：本发明公开了一种面向紫外波段光刻工艺的同构四芯空芯反谐振光纤，属于光纤通信技术领域，包括外包层及设置于外包层内的以矩形阵列方式等间距分布的四个同构空芯导光单元，每个同构空芯导光单元内部均沿垂直方向和水平方向对称设置反谐振结构，反谐振结构合围构成空气纤芯；反谐振结构由多层圆形和椭圆形反谐振管嵌套组成。四个同构空芯导光单元分别工作在280‑380nm、220‑280nm、160‑220nm和100‑160nm波长范围内。本发明的同构四芯空芯反谐振光纤结构具备多通道传输能力，适用于高分辨紫外光刻系统中的多光束并行传输。

本发明授权一种面向紫外波段光刻工艺的同构四芯空芯反谐振光纤在权利要求书中公布了：1.一种面向紫外波段光刻工艺的同构四芯空芯反谐振光纤，包括外包层及设置于所述外包层内的四个同构空芯导光单元，其特征在于， 所述四个同构空芯导光单元在光纤横截面上以矩形阵列方式等间距分布； 每个同构空芯导光单元内部均沿垂直方向和水平方向对称设置反谐振结构，所述反谐振结构以非接触方式合围构成空气纤芯； 每个同构空芯导光单元内部，上侧的反谐振结构包括从内至外嵌套的第一类圆形反谐振管、第一类椭圆反谐振管、第二类椭圆反谐振管和第三类椭圆反谐振管；所述第一类圆形反谐振管与所述同构空芯导光单元的圆形边界相切，三个椭圆反谐振管为同心结构，中心点相对于所述第一类圆形反谐振管的圆心垂直向上偏移，所述三个椭圆反谐振管与所述圆形边界相交并切割掉超出圆形边界部分；所述三个椭圆反谐振管包括第一类椭圆反谐振管、第二类椭圆反谐振管和第三类椭圆反谐振管；所述上侧的反谐振结构中，所述第一类圆形反谐振管的半径为12-18μm；所述第一类椭圆反谐振管的短轴半径为23-27μm，长轴半径为45-55μm；所述第二类椭圆反谐振管的短轴半径为33-37μm，长轴半径为65-75μm；所述第三类椭圆反谐振管的短轴半径为47-53μm，长轴半径为75-85μm； 下侧的反谐振结构与所述上侧的反谐振结构呈中心对称； 左侧的反谐振结构包括第二类圆形反谐振管，所述第二类圆形反谐振管与所述圆形边界相切，所述第二类圆形反谐振管内部嵌套第三类圆形反谐振管和第四类圆形反谐振管，所述第三类圆形反谐振管与所述第二类圆形反谐振管呈同心圆分布，所述第四类圆形反谐振管与所述第二类圆形反谐振管和所述第三类圆形反谐振管相切； 右侧的反谐振结构与所述左侧的反谐振结构呈中心对称； 每个同构空芯导光单元内的反谐振管的管壁厚度均相同，四个同构空芯导光单元的反谐振管的管壁厚度不同。

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