苏州智程半导体科技股份有限公司华斌获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州智程半导体科技股份有限公司申请的专利一种晶圆槽式清洗设备的载具运转方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120767228B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511279419.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆槽式清洗设备的载具运转方法是由华斌;杨仕品设计研发完成，并于2025-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆槽式清洗设备的载具运转方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆槽式清洗设备的载具运转方法，容置晶圆的外部载具由至少一个晶圆装载工站载入，由载具传送系统将容置晶圆的外部载具转移至晶圆转移装置；由晶圆转移装置将多片晶圆由外部载具同步转移至内部载具；将容置晶圆的内部载具通过载具传送系统传送至晶圆清洗区进行清洗，将空置的外部载具通过载具传送系统转移至载具清洗区进行清洗；将清洗后的外部载具作为内部载具进行内部载具的流转循环，或者，作为外部载具在晶圆槽式清洗设备的外部进行外部载具的流转循环。该载具运转方法能够大幅度减少总载具的配置量，最大程度地缩小载具暂存区的占用空间，节约晶圆槽式清洗设备对于外部载具的清洗成本及运行成本。
本发明授权一种晶圆槽式清洗设备的载具运转方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆槽式清洗设备的载具运转方法，其特征在于，所述晶圆槽式清洗设备包括至少一个晶圆装载工站、至少一个内部载具、晶圆清洗区及载具传送系统，至少一个所述晶圆装载工站中配置晶圆转移装置及载具清洗区，所述载具运转方法包括如下步骤： S1、容置晶圆的外部载具由至少一个所述晶圆装载工站载入，对所述晶圆的尺寸进行识别，由所述载具传送系统将容置晶圆的所述外部载具转移至所述晶圆转移装置； S2、由所述晶圆转移装置将多片晶圆由外部载具同步转移至所述内部载具； S3、将容置晶圆的所述内部载具通过所述载具传送系统传送至所述晶圆清洗区进行清洗，将空置的外部载具由配置于所述晶圆装载工站内的第一机械手转移至所述载具清洗区进行清洗，其中，对所述外部载具进行清洗包括对所述外部载具进行喷淋及干燥，并根据识别到的所述晶圆的尺寸，调整对载入所述晶圆的外部载具的喷淋参数； S4、将清洗后的外部载具作为内部载具进行内部载具的流转循环。
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