长春长光启辰科技有限公司贾卓杭获国家专利权
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龙图腾网获悉长春长光启辰科技有限公司申请的专利一种陶瓷加热盘及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120825829B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511336261.5，技术领域涉及：H05B3/14；该发明授权一种陶瓷加热盘及其制备方法是由贾卓杭;陈佳新;万昊林;周忠贺设计研发完成，并于2025-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种陶瓷加热盘及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种陶瓷加热盘及其制备方法，涉及陶瓷加热盘技术领域。一种陶瓷加热盘包括上盘体、下盘体、加热丝、托盘、陶瓷管以及活塞板，托盘设于上盘体内，加热丝设于下盘体内，上盘体以及下盘体相互安装时驱动托盘底端压紧加热丝，多个陶瓷管设于托盘内，上盘体以及托盘之间填充有导热油，活塞板与陶瓷管形成的密闭空间内设有导热油，且导热油膨胀时驱动活塞板移动至预设位置时自主喷洒，导热油泄压后密闭空间自主抽取存储空间上层导热油。本发明加热丝可以任意位置放置到下盘体内并固定，无需中心定位，通过对存储空间内导热油加热，使薄晶圆均匀受热；多个陶瓷管强制存储空间导热油相互流动，有利于热对流，加速存储空间导热油均匀受热。
本发明授权一种陶瓷加热盘及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种陶瓷加热盘，其特征在于，包括上盘体100、下盘体200、加热丝300、托盘400、陶瓷管501以及活塞板503，所述托盘400设置于上盘体100内侧，所述加热丝300放置于下盘体200内侧，所述上盘体100以及下盘体200相互安装时驱动托盘400底端压紧加热丝300，多个所述陶瓷管501均匀设置于托盘400内侧，所述上盘体100以及托盘400之间所形成的存储空间填充有导热油，所述活塞板503设置于陶瓷管501内部，其底端与陶瓷管501侧壁所形成的密闭空间内填充有导热油，当所述密闭空间内导热油处于膨胀状态时，驱动活塞板503垂直向上移动，当所述活塞板503向上移动至预设位置时，膨胀状态下的导热油自主向存储空间内下层喷洒，当所述密闭空间内导热油泄压后，活塞板503复位且密闭空间内自主抽取存储空间内上层导热油。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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