中国科学院宁波材料技术与工程研究所王吉获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请的专利高深径比微孔结构的加工方法及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120828226B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511340935.9,技术领域涉及:B23K26/382;该发明授权高深径比微孔结构的加工方法及其应用是由王吉;张文武设计研发完成,并于2025-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本高深径比微孔结构的加工方法及其应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高深径比微孔结构的加工方法及其应用。高深径比微孔结构的加工方法包括:在样品表面加工形成预制微孔;在样品表面形成反射结构,反射结构紧邻预制微孔,反射结构能够反射入射的光,防止微孔入口被烧蚀;在预制微孔的底部形成吸收结构,在吸收结构上形成透光的约束结构;以激光照射约束结构,透过约束结构的激光照射在吸收结构上,吸收结构能够吸收激光的能量,并瞬时膨胀爆炸产生等离子体,约束结构约束等离子体沿预制微孔的纵深方向向下刻蚀样品,直至获得目标微孔。本发明实现了金刚石射流微孔的无锥度、大深径比加工,保障了射流微孔入口不会应为在大深度加工时被过度烧蚀而产生表面缺陷,从而保证微射流口能承受高压射流。
本发明授权高深径比微孔结构的加工方法及其应用在权利要求书中公布了:1.一种高深径比微孔结构的加工方法,其特征在于,包括: 在样品表面加工形成预制微孔; 在所述样品表面形成反射结构,所述反射结构环绕在所述预制微孔的周围,并紧邻所述预制微孔,所述反射结构能够反射入射的光; 在所述预制微孔的底部形成吸收结构,在所述吸收结构上形成透光的约束结构,所述吸收结构包含金属氧化物和石墨; 以激光照射所述约束结构,透过所述约束结构的激光照射在所述吸收结构上,所述吸收结构吸收所述激光的能量,所述石墨瞬时膨胀爆炸产生石墨等离子体,所述约束结构约束所述石墨等离子体沿所述预制微孔的纵深方向向下聚集,所述石墨等离子体在所述预制微孔与所述约束结构围合形成的封闭空间内形成高温高压环境,在所述高温高压环境中,所述金属氧化物中的金属离子、氧离子与预制微孔底部的样品发生反应,而将所述预制微孔底部的样品的材料刻蚀除去,直至获得目标微孔。
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