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龙图腾网获悉苏州德耐纳米科技有限公司申请的专利一种真空镀膜系统及其镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120844023B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511340690.X，技术领域涉及：C23C14/30；该发明授权一种真空镀膜系统及其镀膜方法是由黄桃设计研发完成，并于2025-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空镀膜系统及其镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空镀膜系统及其镀膜方法，包括如下步骤：S1：将靶材进行烘干，自然冷却后放置于坩埚内，接着将下壳体密封；S2：将单晶锗片和一片光学玻璃片作为基片放置于放置筒底端的凸缘上，将上壳体密封；S3：对下壳体和上壳体进行抽真空；S4：启动坩埚对应的电子枪，电子枪产生高能电子束将靶材加热至蒸发温度，靶材蒸发后以粒子的形式向上运动并沉积于基片表面。本发明采用多个坩埚沿竖向分布且共轴心线设计，保证了每个坩埚内靶材的蒸发方向一致。坩埚内的靶材在加热至蒸发温度后均向基片垂直方向上方运动，避免了基片位置的频繁调整，简化了镀膜过程的操作，提升了镀膜的均匀性和效率，适合多层次、复杂镀膜的需求。

本发明授权一种真空镀膜系统及其镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜系统，其特征在于，其中，下壳体1和上壳体2通过连通管3相连通，下壳体1内部设置有若干竖向分布的坩埚10，每个坩埚10一侧的下壳体1内壁对应设置有电子枪34，坩埚10的外壁上套设有隔热套筒11，隔热套筒11外壁一体成型有对称分布的第一滑动块9，第一滑动块9上贯穿有与其滑动连接的第一导向柱8，第一导向柱8一端焊接固定于竖板7上，竖板7上设置有用于推动坩埚10水平移动的第一驱动机构；上壳体2内部设置有托板16，托板16沿其长度方向开设有多个通孔17，托板16两侧外壁焊接固定有第二滑动块18，第二滑动块18上贯穿有与其滑动连接的第二导向柱19，第二导向柱19两端与上壳体2内壁焊接连接，上壳体2内部还设置有用于推动第二滑动块18水平移动的第二驱动机构； 托板16上贯穿有一组第一连接柱23，第一连接柱23底端焊接固定有密封柱24，密封柱24的外圆壁套设有与其焊接固定的密封环25；通孔17外围的托板16壁体上贯穿有一组第二连接柱27，第二连接柱27底端与放置筒28的顶端焊接固定，放置筒28与通孔17共轴心线设置，放置筒28的底端内壁凸出形成有圆环状的凸缘29；第一连接柱23的顶端焊接固定有第一活动环22，第二连接柱27的顶端焊接固定有第二活动环26，第一连接柱23和第二连接柱27上均套设有弹力弹簧30，上壳体2内部设置有用于驱动第一活动环22和第二活动环26竖向移动的第三驱动机构。

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