上海至纯洁净系统科技股份有限公司;上海泛楒立光电设备有限公司沈健锋获国家专利权
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龙图腾网获悉上海至纯洁净系统科技股份有限公司;上海泛楒立光电设备有限公司申请的专利一种在线臭氧水供液管路系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223570451U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423185370.5，技术领域涉及：B01F23/232；该实用新型一种在线臭氧水供液管路系统是由沈健锋;姜惠程;胡农;沈一林设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种在线臭氧水供液管路系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种在线臭氧水供液管路系统，包括：臭氧发生器、供水管路、微纳米气泡装置、气液分离混合装置以及供液管路，微纳米气泡装置通过射流方式喷射高压超纯水以吸入臭氧气体，形成含有微纳米臭氧气泡的气液混合物，气液分离混合装置内部安装有破除臭氧气泡促使臭氧溶解到超水单元中的混合单元。本实用新型的臭氧水供液系统能够在线制备稳定高浓度的臭氧水，为确保晶圆的清洗效果和产品质量提供了有力保障。
本实用新型一种在线臭氧水供液管路系统在权利要求书中公布了：1.一种在线臭氧水供液管路系统，其特征在于，包括： 臭氧发生器，用于生成臭氧气体； 供水管路，具有增压泵，用于生成高压超纯水； 微纳米气泡装置，其进气口连接所述臭氧发生器的臭氧出口，进液口连接供水管路，其通过射流方式喷射高压超纯水以吸入臭氧气体，形成含有微纳米臭氧气泡的气液混合物； 气液分离混合装置，其进液口连接微纳米气泡装置的射流出口，其内部安装有破除臭氧气泡促使臭氧溶解到超纯水中的混合单元； 供液管路，连接在所述气液分离混合装置的出液口上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海至纯洁净系统科技股份有限公司;上海泛楒立光电设备有限公司，其通讯地址为：200241 上海市闵行区紫海路170号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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