麦斯克电子材料股份有限公司王海君获国家专利权
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龙图腾网获悉麦斯克电子材料股份有限公司申请的专利一种硅片清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223571486U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422996288.4,技术领域涉及:B08B3/04;该实用新型一种硅片清洗装置是由王海君;廖宇冉;邵奇;赵智超;杨林发设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片清洗装置在说明书摘要公布了:一种硅片清洗装置,包括清洗池、若干个吊篮、第一驱动机构和第二驱动机构;本实用新型的第二驱动机构用于驱动吊篮在第二清洗区中升降,第二驱动机构包括驱动电机、顶杆和L型传动杆,驱动电机固定设置在承载板上,驱动电机的输出轴上同轴固定连接有连接盘,连接盘上连接有偏心连接轴,L型传动杆的一端与偏心连接轴转动连接,L型传动杆的中部与清洗池的池壁转动连接,L型传动杆的另一端与顶杆的一端转动连接,顶杆的另外一端连接有用于连接吊篮的托架。通过第二驱动机构的工作,硅片在吊篮内会发生一定程度的晃动,能够将硅片与吊篮接触的死角通过水流进行清洗,提高了对硅片的清洗效果。
本实用新型一种硅片清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片清洗装置,其特征在于:包括清洗池1、若干个吊篮8、第一驱动机构2和第二驱动机构4; 清洗池1包括多个第一清洗区101和多个第二清洗区102; 第一驱动机构2用于将吊篮8从第一清洗区101转移至第二清洗区102,第一驱动机构2包括丝杠202和配合设置在丝杠202上的滑块201,滑块201上固定连接有气缸203,气缸203的活塞杆固定连接有承载板7,承载板7上转动设置有若干用于吊挂吊篮8的吊挂钩3; 第二驱动机构4用于驱动吊篮8在第二清洗区102中升降,第二驱动机构4包括驱动电机408、顶杆406和L型传动杆404,驱动电机408固定设置在承载板7上,驱动电机408的输出轴上同轴固定连接有连接盘401,连接盘401上连接有偏心连接轴402,L型传动杆404的一端与偏心连接轴402转动连接,L型传动杆404的中部与清洗池1的池壁转动连接,L型传动杆404的另一端与顶杆406的一端转动连接,顶杆406的另外一端连接有用于连接吊篮8的托架6。
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