苏州中科煜宸激光智能科技有限公司邢飞获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州中科煜宸激光智能科技有限公司申请的专利基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223572231U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423131895.0，技术领域涉及：B23K26/38；该实用新型基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统是由邢飞;李代旭;陆鑫;唱丽丽;吴凡设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统，包括：激光器；分光镜；聚焦镜；水导加工头；单晶硅片，经由水射流对其进行水导激光切割加工；透明玻璃，从底部方向贴合到单晶硅片，与单晶硅片形成一体并支撑单晶硅片；夹具，包括上夹具与下夹具，分别从单晶硅片的上表面以及透明玻璃的下表面进行夹持；以及在上夹具与单晶硅片的上表面之间的缓冲层。本实用新型通过高透光性玻璃作为底部支撑材料，既提供有效的支撑，同时使得加工过程中的激光逸散，防止对单晶硅造成损伤，减少水流冲击产生的崩边和裂纹，提高单晶硅水导激光加工的质量。同时在夹具与单晶硅片的接触面加装弹性垫片进行缓冲和防护，提高加工成品表面质量。
本实用新型基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统在权利要求书中公布了：1.一种基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统，其特征在于，包括： 激光器1； 分光镜2； 聚焦镜3； 水导加工头4，用于通过光束与水束耦合射出加工用水射流5； 位于水导加工头4下方的单晶硅片10，经由所述水射流5进行水导激光切割加工； 透明玻璃20，从底部方向贴合到所述单晶硅片10，与单晶硅片10形成一体并从底部支撑所述单晶硅片10； 夹具30，包括上夹具31与下夹具32，分别从单晶硅片10的上表面以及透明玻璃20的下表面进行夹持；以及 设置在所述上夹具31与单晶硅片10的上表面之间的缓冲层33。
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