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龙图腾网获悉江苏亨芯石英科技有限公司申请的专利一种大尺寸光掩模石英玻璃基板抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223572739U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422931599.2，技术领域涉及：B24B7/24；该实用新型一种大尺寸光掩模石英玻璃基板抛光装置是由郇朝阳;肖华;钟媛;王俊;陆国森;刘利;黄加;陈一彪;张国保设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种大尺寸光掩模石英玻璃基板抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光掩模制备技术领域，本实用新型要解决的技术问题是成品率低，加工精度不高等。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种大尺寸光掩模石英玻璃基板抛光装置。本实用新型包括：工件回转支撑组件，在水平面中沿X方向滑动连接在底部支撑件一端的顶部；工件回转支撑组件的支撑盘设有安装槽；双轴磨盘组件沿Y方向滑动连接在底部支撑件另一端的顶部；双轴磨盘组件包括可回转的抛光盘；抛光盘轴线与支撑盘轴线的高度平齐；抛光盘以及支撑盘设于密封舱室中；冷却循环系统用于向支撑盘和抛光盘供给抛光液；其中，工件回转支撑组件向双轴磨盘组件滑动，用于夹紧待加工工件；抛光盘和支撑盘分别在垂直于水平面的平面中回转。本实用新型提高加工精度和成品率。

本实用新型一种大尺寸光掩模石英玻璃基板抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸光掩模石英玻璃基板抛光装置，其特征在于：包括： 底部支撑件； 工件回转支撑组件，在水平面中沿X方向滑动连接在所述底部支撑件一端的顶部；所述工件回转支撑组件包括可回转的支撑盘；所述支撑盘的盘面设有安装槽，用于安装待加工工件； 双轴磨盘组件，在水平面中沿Y方向滑动连接在所述底部支撑件另一端的顶部；所述双轴磨盘组件包括两个沿所述Y方向并排设置的磨盘部件，所述磨盘部件包括可回转的抛光盘；所述抛光盘与所述支撑盘面对面设置；抛光盘与支撑盘，两者轴线的高度平齐； 密封舱室，设于所述底部支撑件的顶部；所述抛光盘以及所述支撑盘设于所述密封舱室中； 冷却循环系统，与所述密封舱室连接，用于向所述支撑盘和所述抛光盘供给抛光液； 其中，所述工件回转支撑组件向所述双轴磨盘组件滑动，用于夹紧所述待加工工件；所述抛光盘和所述支撑盘分别在垂直于水平面的平面中回转，用于加工所述待加工工件。

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