星钥(珠海)半导体有限公司陈婷获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉星钥(珠海)半导体有限公司申请的专利用于晶圆抛光的保持器及晶圆抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223572833U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423235485.0，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型用于晶圆抛光的保持器及晶圆抛光装置是由陈婷设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆抛光的保持器及晶圆抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于晶圆抛光的保持器及晶圆抛光装置,用于晶圆抛光的保持器，包括：第一连接盘，其上端设有连接结构；保持环，与所述第一连接盘的下端连接，用于限位晶圆；若干夹持组件，若干夹持组件设置在所述保持环上，并沿保持环的圆周方向布置，所述夹持组件包括：上夹持件、下夹持件及第一驱动件，其中上夹持件和下夹持件沿保持环的轴向相对布置，且上夹持件和下夹持件分别设有上夹持部和下夹持部，上夹持部和下夹持部伸出所述保持环内的内壁；第一驱动件与所述上夹持件和或所述下夹持件连接。上述用于晶圆抛光的保持器，提高了材料利用率、延长了使用寿命，并增强了适配不同厚度晶圆的能力。
本实用新型用于晶圆抛光的保持器及晶圆抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆抛光的保持器，其特征在于，包括： 第一连接盘，其上端设有与抛光头可拆卸连接的连接结构； 保持环，与所述第一连接盘的下端连接，用于限位晶圆； 若干夹持组件，若干夹持组件设置在所述保持环上，并沿保持环的圆周方向布置，所述夹持组件包括：上夹持件、下夹持件及第一驱动件，其中上夹持件和下夹持件沿保持环的轴向相对布置，且上夹持件和下夹持件分别设有上夹持部和下夹持部，上夹持部和下夹持部伸出所述保持环内的内壁；第一驱动件与所述上夹持件和或所述下夹持件连接，用于使上夹持件、下夹持件沿相对方向或相反反向移动，从而上夹持部和下夹持部夹持或释放背膜。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人星钥(珠海)半导体有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市香洲区珠海市高新区唐家湾镇湾创路58号5层505室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励