华海清科股份有限公司张玉同获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种防护装置和化学机械抛光系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223572856U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423154863.2，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型一种防护装置和化学机械抛光系统是由张玉同;黄锁生;代永昌设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防护装置和化学机械抛光系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种防护装置和化学机械抛光系统，所述防护装置，用于化学机械抛光系统中抛光盘的防护，其包括环状的主体件并位于抛光盘的外周侧；所述主体件包括：容纳腔，其设置于主体件的内部，用于缓存液体；出液口，其设置于主体件的内侧并与所述容纳腔相连通；所述容纳腔的液体经由出液口流向所述主体件的内侧壁，以实现主体件内侧壁的保湿。
本实用新型一种防护装置和化学机械抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种防护装置，用于化学机械抛光系统中抛光盘的防护，其特征在于，包括环状的主体件并位于抛光盘的外周侧；所述主体件包括： 容纳腔，其设置于主体件的内部，用于缓存液体； 出液口，其设置于主体件的内侧并与所述容纳腔相连通； 所述容纳腔的液体经由出液口流向所述主体件的内侧壁，以实现主体件内侧壁的保湿。
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