中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司李争光获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利一种研磨器单元及化学机械研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223572861U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423242536.2，技术领域涉及：B24B37/12；该实用新型一种研磨器单元及化学机械研磨设备是由李争光;王海波;汪康;丁杰设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨器单元及化学机械研磨设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种研磨器单元及化学机械研磨设备，该研磨器单元包括：研磨盘；研磨基座；研磨基座包括电磁线圈；研磨盘在电磁线圈通电产生磁吸力时，被吸引与研磨基座接触连接；研磨盘在电磁线圈断电，磁吸力消失后与研磨基座断开连接。本申请实施例中，通过在研磨基座中设置电磁线圈，并基于电磁线圈通电产生磁吸力、断电无磁吸力，实现研磨盘和研磨基座的接触连接与断开连接，从而使研磨盘的更换操作更省时省力。
本实用新型一种研磨器单元及化学机械研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种研磨器单元，其特征在于，包括： 研磨盘； 研磨基座；所述研磨基座包括电磁线圈；所述研磨盘在所述电磁线圈通电产生磁吸力时，被吸引与所述研磨基座接触连接；所述研磨盘在所述电磁线圈断电，磁吸力消失后与所述研磨基座断开连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路18号3号楼5楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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