华海清科股份有限公司周士杰获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种抛光防护装置和化学机械抛光系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223572864U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423217998.9,技术领域涉及:B24B37/34;该实用新型一种抛光防护装置和化学机械抛光系统是由周士杰;齐心;徐海洋;彭泽明;于书翰设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光防护装置和化学机械抛光系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种抛光防护装置和化学机械抛光系统,所述抛光防护装置包括:环状结构的挡圈,设置于所述抛光盘的外周侧;升降组件,其固定端连接于抛光系统的基座,其移动端连接于所述挡圈,以带动挡圈沿竖向移动;所述升降组件配置有防护套,以阻隔抛光废液进入升降组件的内部。
本实用新型一种抛光防护装置和化学机械抛光系统在权利要求书中公布了:1.一种抛光防护装置,用于抛光系统中抛光盘的防护,其特征在于,包括: 环状结构的挡圈,设置于所述抛光盘的外周侧; 升降组件,其固定端连接于抛光系统的基座,其移动端连接于所述挡圈,以带动挡圈沿竖向移动; 所述升降组件配置有防护套,以阻隔抛光废液进入升降组件的内部。
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