深圳镁伽科技有限公司陈先文获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳镁伽科技有限公司申请的专利清洗涂胶机构和激光加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223582954U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423000586.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型清洗涂胶机构和激光加工设备是由陈先文;胡发富设计研发完成，并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗涂胶机构和激光加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种清洗涂胶机构和激光加工设备，包括清洗涂覆桶、旋转平台、清洗摆臂和涂覆摆臂；旋转平台可转动地设置于清洗涂覆桶内，旋转平台可带动晶圆高速旋转。清洗摆臂可摆动地设置于清洗涂覆桶内，并设置有第一出水口，第一出水口用于朝向旋转平台布置，以在摆动的过程中向晶圆喷水；涂覆摆臂可摆动地设置于清洗涂覆桶内，并设置有涂胶口，涂胶口用于朝向旋转平台布置，以在摆动的过程中向晶圆上涂胶。本实用新型在清洗过程中，涂覆摆臂带动涂胶口摆动至避让晶圆的位置，避免出现滴胶的情况，保证了晶圆清洁的洁净度；在涂胶的过程中，清洗摆臂带动第一出水口摆动至避让晶圆的位置，避免出现滴水的情况，保证了保护液涂覆的均匀性。
本实用新型清洗涂胶机构和激光加工设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗涂胶机构，其特征在于，包括： 清洗涂覆桶100，具有供晶圆进出的开口； 旋转平台200，可转动地设置于所述清洗涂覆桶100内，用于带动晶圆转动； 清洗摆臂300，可摆动地设置于所述清洗涂覆桶100内，并设置有第一出水口331，所述第一出水口331用于朝向所述旋转平台200布置； 涂覆摆臂400，可摆动地设置于所述清洗涂覆桶100内，并设置有涂胶口431，所述涂胶口431用于朝向所述旋转平台200布置。
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