拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司周磊获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种用于转移机械臂的检测装置及其薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223582958U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423201359.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种用于转移机械臂的检测装置及其薄膜沉积设备是由周磊;王帅;于成辉;沙俊汀;刘震设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于转移机械臂的检测装置及其薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于转移机械臂的检测装置及其薄膜沉积设备，转移机械臂的检测装置包括：用于转移晶圆的机械臂，以及用于检测所述机械臂位移的位移检测组件，所述位移检测组件包括第一检测组件和第二检测组件，所述第一检测组件和所述第二检测组件分别用于检测所述机械臂的两个夹臂的Z轴位移数据。本实用新型的用于转移机械臂的检测装置及其薄膜沉积设备，其通过在晶圆降温缓冲站内增加位移检测组件以定期对晶圆转移机械臂在Z轴方向位移变化进行检测，从而避免机械臂因位移变化导致的晶圆损伤或碰撞风险。采用该检测装置的薄膜沉积设备，能够降低对晶圆的损伤和传片碰撞几率，提高加工质量和效率。
本实用新型一种用于转移机械臂的检测装置及其薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种用于转移机械臂的检测装置，其特征在于，包括：用于转移晶圆的机械臂，以及用于检测所述机械臂位移的位移检测组件，所述位移检测组件包括第一检测组件和第二检测组件，所述第一检测组件和所述第二检测组件分别用于检测所述机械臂的两个夹臂的Z轴位移数据。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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