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龙图腾网获悉上海邦芯半导体设备有限公司申请的专利感性耦合反应器及其工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111799197B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010732092.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权感性耦合反应器及其工作方法是由吴堃;杨猛设计研发完成，并于2020-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本感性耦合反应器及其工作方法在说明书摘要公布了：一种感性耦合反应器及其工作方法，感性耦合反应器包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元；所述感性耦合射频单元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩内部的反应室介质管，所述反应室介质管的侧壁倾斜且反应室介质管的顶部横截面小于底部横截面；位于所述屏蔽罩内部且分布于所述反应室介质管侧部的上射频天线和下射频天线，所述上射频天线和下射频天线相互分立，所述上射频天线馈入的射频功率和所述下射频天线馈入的射频功率分别可调。所述感性耦合反应器能加强对等离子体分布的控制能力。

本发明授权感性耦合反应器及其工作方法在权利要求书中公布了：1.一种感性耦合反应器，其特征在于，包括： 反应腔主体； 位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元； 所述感性耦合射频单元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩内部的反应室介质管，所述反应室介质管的侧壁倾斜且反应室介质管的顶部横截面小于底部横截面；位于所述屏蔽罩内部且分布于所述反应室介质管侧部的上射频天线和下射频天线，所述上射频天线和下射频天线相互分立，所述上射频天线馈入的射频功率和所述下射频天线馈入的射频功率分别独立可调；所述上射频天线和下射频天线均为具有多匝连续的盘香型线圈，其中每匝线圈至反应室介质管的距离相等； 所述下射频天线具有第一天线终端和第二天线终端，所述上射频天线具有第三天线终端和第四天线终端；所述第一天线终端适于馈入第一射频，所述第三天线终端适于馈入第二射频，第一射频和第二射频的大小独立可调；通过上射频天线和下射频天线中馈入的第一射频和第二射频的大小独立可调使得反应室介质管内部的等离子体密度分布可调，进而使得等离子体进入反应腔主体后的分布得到可调控制； 还包括：冷却装置，所述冷却装置位于所述屏蔽罩的顶部，所述冷却装置用于对所述射频天线和所述反应室介质管进行冷却； 还包括：位于所述反应腔主体内底部的晶圆夹持平台；所述上射频天线和下射频天线用于在所述反应室介质管内部产生等离子体，所述等离子体适于通过所述反应室介质管进入所述晶圆夹持平台和所述反应室介质管之间； 所述感性耦合射频单元还包括：位于所述反应室介质管顶部的进气通道，所述进气通道适于通入刻蚀晶圆的刻蚀气体至所述反应室介质管中。

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