湖南玉丰真空科学技术有限公司李国强获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南玉丰真空科学技术有限公司申请的专利磁场可调的磁控溅射阴极获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112176303B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011024220.X，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权磁场可调的磁控溅射阴极是由李国强;舒逸;刘光斗;李赞设计研发完成，并于2020-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁场可调的磁控溅射阴极在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁场可调的磁控溅射阴极，包括靶材、背板、磁体装置、阴极底板以及屏蔽板，磁体装置由在长度方向上的多块独立磁场模块组成，每个独立磁场模块分别单独通过调节组件与固定在阴极底板上的固定底板连接，调节组件包括调节螺母、调节螺杆、导向柱，调节螺母转动连接在固定底板上，调节螺杆与调节螺母螺纹连接，调节螺杆穿过固定底板与独立磁场模块连接，固定底板上设有导向孔，导向柱一端与独立磁场模块固定连接，另一端与导向孔配合。本发明将磁体装置在高度方向上分成多段独立磁场模块，每块独立磁场模块均可通过调节螺母来实现前后移动，从而调节磁场前后的距离，实现高度方向上不同区域膜厚不一致的工艺生产要求。
本发明授权磁场可调的磁控溅射阴极在权利要求书中公布了：1.磁场可调的磁控溅射阴极，包括靶材、背板、磁体装置、阴极底板以及屏蔽板，其特征在于：所述磁体装置由在长度方向上的多块独立磁场模块组成，每个独立磁场模块分别单独通过调节组件与固定在阴极底板上的固定底板连接，所述调节组件包括调节螺母、调节螺杆、导向柱，所述调节螺母转动连接在固定底板上，所述调节螺杆与调节螺母螺纹连接，调节螺杆穿过固定底板与独立磁场模块连接，所述固定底板上设有导向孔，所述导向柱一端与独立磁场模块固定连接，另一端与导向孔配合；所述导向柱由与独立磁场模块连接的大直径段以及与大直径段连接的小直径段组成，所述导向孔包括靠近独立磁场模块一侧的大口径段以及远离独立磁场模块一侧的小口径段，所述导向柱的大直径段与导向孔的大口径段相配合，导向柱的小直径段与导向孔的小口径段相配合；每块所述独立磁场模块处均对应设有作为调节距离参照依据的标尺杆。
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