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矽磐微电子(重庆)有限公司穆正德获国家专利权

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龙图腾网获悉矽磐微电子(重庆)有限公司申请的专利晶圆贴膜方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114121597B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010901147.3,技术领域涉及:H01L21/02;该发明授权晶圆贴膜方法是由穆正德设计研发完成,并于2020-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

晶圆贴膜方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶圆贴膜方法。所述晶圆贴膜方法包括:提供保护膜、隔离膜和晶圆,所述隔离膜具有与所述晶圆的形状一致的收容空间;将所述保护膜面向所述晶圆和所述隔离膜,所述晶圆置于所述隔离膜的收容空间内,所述保护膜包括面向所述晶圆的第一区段;对所述保护膜和所述晶圆进行压合;剥离所述隔离膜。在压合过程中,第一区段与晶圆结合,隔离膜限制了流胶的产生,去除隔离膜后,晶圆周围几乎不存在流胶,从而省去清理流胶的工序,有利于节约时间和人力。

本发明授权晶圆贴膜方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆贴膜方法,其特征在于,所述晶圆贴膜方法包括: 提供保护膜、隔离膜和晶圆,所述隔离膜具有与所述晶圆的形状一致的收容空间;所述收容空间在纵向上贯穿所述隔离膜; 将所述保护膜面向所述晶圆和所述隔离膜,所述晶圆置于所述隔离膜的收容空间内,所述晶圆与所述收容空间的内表面紧密接触,所述保护膜仅包括面向所述晶圆的第一区段;所述保护膜切割成与所述晶圆一致的形状;所述隔离膜的厚度与所述晶圆的厚度一致; 对所述保护膜和所述晶圆进行压合,所述隔离膜用于限制压合工艺中所述晶圆周围产生流胶; 剥离所述隔离膜。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人矽磐微电子(重庆)有限公司,其通讯地址为:401331 重庆市沙坪坝区西永大道25号C栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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