三星显示有限公司鲁承旭获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利干燥装置及干燥方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114251935B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111093055.8,技术领域涉及:F26B13/10;该发明授权干燥装置及干燥方法是由鲁承旭设计研发完成,并于2021-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本干燥装置及干燥方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种干燥装置及干燥方法。干燥装置可包括:载物台,用于支撑基板,并且包括对所述基板进行加热的多个加热块;以及干燥上板,设置在所述载物台的上部,并且包括在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气solventvapor的浓度的多个溶剂传感器。
本发明授权干燥装置及干燥方法在权利要求书中公布了:1.一种干燥装置,包括: 载物台,用于支撑基板,并且包括对所述基板进行加热的多个加热块;以及 干燥上板,设置在所述载物台的上部,并且包括在多个位置检测从所述基板产生的溶剂蒸气的浓度的多个溶剂传感器, 所述多个位置包括第一位置及第二位置, 所述多个溶剂传感器包括:第一溶剂传感器,用于在所述第一位置检测所述溶剂蒸气的第一浓度;以及第二溶剂传感器,用于在所述第二位置检测所述溶剂蒸气的第二浓度, 所述多个加热块包括与所述第一位置对应的第一加热块及与所述第二位置对应的第二加热块。
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