三星显示有限公司李璱获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利掩模、设置掩模的方法以及使用其设置显示面板的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114540755B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111313981.1,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权掩模、设置掩模的方法以及使用其设置显示面板的方法是由李璱;文敏浩;文英慜;孙智熙;宋升勇;任星淳设计研发完成,并于2021-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模、设置掩模的方法以及使用其设置显示面板的方法在说明书摘要公布了:本申请涉及设置沉积掩模的方法、设置显示面板的方法和沉积掩模。设置掩模的方法包括:设置面对第二掩模层的第一掩模层;在第二掩模层中,设置对应于掩模的沉积开口的第一开口;设置辅助层,辅助层面对第一掩模层且第二掩模层位于它们之间并且覆盖第一开口;在辅助层中,设置对应于第一开口并将第一掩模层暴露于辅助层外部的第二开口;在第一掩模层中,通过使用辅助层作为掩模,设置对应于第一开口和第二开口的第三开口;以及设置辅助层与第一掩模层和第二掩模层分离,以设置具有包含第三开口的第一掩模层和包含第一开口的第二掩模层的沉积掩模。
本发明授权掩模、设置掩模的方法以及使用其设置显示面板的方法在权利要求书中公布了:1.设置沉积掩模的方法,所述方法包括: 设置面向第二掩模层的第一掩模层; 在所述第二掩模层中,设置与所述沉积掩模的沉积开口对应的并且将所述第一掩模层暴露于所述第二掩模层的外部的第一开口; 设置辅助层,所述辅助层面对所述第一掩模层且所述第二掩模层位于所述辅助层与所述第一掩模层之间,并且所述辅助层覆盖所述第二掩模层中的所述第一开口; 在所述辅助层中,设置与所述第一开口对应的并且将所述第一掩模层暴露于所述辅助层的外部的第二开口; 在暴露于所述辅助层外部的所述第一掩模层中,通过使用具有所述第二开口的所述辅助层作为掩模设置与所述第一开口和所述第二开口对应的第三开口;以及 将所述辅助层设置为与所述第一掩模层和所述第二掩模层分离,以设置具有包含所述第三开口的所述第一掩模层和具有包含所述第一开口的所述第二掩模层的所述沉积掩模。
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