厦门大学九江研究院张明昆获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门大学九江研究院申请的专利一种具有超构表面的等离激元增强4H-SiC MSM紫外光电探测器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115172476B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210880517.9，技术领域涉及：H10F77/30；该发明授权一种具有超构表面的等离激元增强4H-SiC MSM紫外光电探测器及其制备方法是由张明昆;洪荣墩;张峰;吴正云设计研发完成，并于2022-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有超构表面的等离激元增强4H-SiC MSM紫外光电探测器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有超构表面的等离激元增强4H‑SiCMSM紫外光电探测器及其制备方法，所述紫外光电探测器包括4H‑SiC衬底层，所述4H‑SiC衬底层上设有N型缓冲层，所述N型缓冲层上设有轻掺杂的N‑外延层，所述轻掺杂的N‑外延层上设有超构表面结构和石墨烯透明电极，所述石墨烯透明电极为叉指电极，所述超构表面结构位于所述石墨烯透明电极的间隙中，所述超构表面结构的顶部设有Al纳米结构。本发明通过超构表面、石墨烯电极以及等离激元增强的光吸收使得光生电子空穴对的数量提高，从而有效提高器件的响应度和量子效率，提升紫外光电探测器的应用性能。
本发明授权一种具有超构表面的等离激元增强4H-SiC MSM紫外光电探测器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有超构表面的等离激元增强4H-SiCMSM紫外光电探测器，其特征在于，包括4H-SiC衬底层1，所述4H-SiC衬底层1上设有N型缓冲层2，所述N型缓冲层2上设有轻掺杂的N-外延层3，所述轻掺杂的N-外延层3上设有超构表面结构4和石墨烯透明电极5，所述石墨烯透明电极5为叉指电极，所述超构表面结构4位于所述石墨烯透明电极5的间隙中，所述超构表面结构4的顶部设有Al纳米结构6，所述超构表面结构4为倾斜台面的光栅结构，所述倾斜台面的侧壁具有二氧化硅钝化层。
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