江苏优普纳科技有限公司;湖南大学周仁宸获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏优普纳科技有限公司;湖南大学申请的专利用于半导体晶圆减薄砂轮的微晶玻璃结合剂的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119734209B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411737960.6,技术领域涉及:B24D18/00;该发明授权用于半导体晶圆减薄砂轮的微晶玻璃结合剂的制备方法是由周仁宸;尹韶辉;康宁;张子平;吉佛涛;董广帅;尹志勇设计研发完成,并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体晶圆减薄砂轮的微晶玻璃结合剂的制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于半导体晶圆减薄砂轮的微晶玻璃结合剂的制备方法,包括:获取微晶玻璃结合剂的多种原料,包括正硅酸乙酯、拟薄水铝石、氢氧化锂溶胶、硼酸、硝酸钠、硝酸钾、氢氧化铬溶胶、钛酸丁酯;将多种原料放入第一溶剂中进行混合并充分水解,得到均相前驱体溶液,进而依次加入PH调节物质、非极性溶剂、氢氧化锂溶胶和氢氧化铬溶胶,得到均相溶胶体系;向均相溶胶体系中加入硼酸粉体、硝酸钠粉体和硝酸钾粉体,并进行加热搅拌后得到均相混合溶胶;对均相混合溶胶进行陈化干燥,以得到混合凝胶;对混合凝胶进行干法球磨和湿法球磨,以得到微晶玻璃结合剂粉体。根据本发明制备的微晶玻璃结合剂,软化温度较低,且具备较高的强度和润湿性。
本发明授权用于半导体晶圆减薄砂轮的微晶玻璃结合剂的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体晶圆减薄砂轮的微晶玻璃结合剂粉体的制备方法,包括: 按照第一配方获取微晶玻璃结合剂粉体的多种原料,所述微晶玻璃结合剂粉体的多种原料包括正硅酸乙酯、拟薄水铝石、氢氧化锂溶胶、硼酸、硝酸钠、硝酸钾、氢氧化铬溶胶、钛酸丁酯;所述第一配方包括微晶玻璃结合剂粉体的每种原料对应的质量百分比,其中,所述正硅酸乙酯的质量百分比为20-40%,所述拟薄水铝石的质量百分比为10-20%,所述氢氧化锂溶胶的质量百分比为5-10%,所述硼酸的质量百分比为15-30%,所述硝酸钠的质量百分比为1-5%,所述硝酸钾的质量百分比为1-5%,所述氢氧化铬溶胶的质量百分比为2-5%,所述钛酸丁酯的质量百分比为5-10%; 将所述微晶玻璃结合剂粉体的多种原料放入第一溶剂中进行混合并充分水解,得到均相前驱体溶液; 向所述均相前驱体溶液中依次加入PH调节物质、无水乙醇、氢氧化锂溶胶和氢氧化铬溶胶,得到均相溶胶体系; 向所述均相溶胶体系中加入硼酸粉体、硝酸钠粉体和硝酸钾粉体,并进行加热搅拌,以使所述均相溶胶体系中的物质充分水解,得到均相混合溶胶; 对所述均相混合溶胶进行陈化干燥,以得到混合凝胶; 对所述混合凝胶进行干法球磨和湿法球磨,以得到微晶玻璃结合剂粉体。
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