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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利化学气相沉积衬底的制备方法以及化学气相沉积方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119776795B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411598856.3，技术领域涉及：C23C16/02；该发明授权化学气相沉积衬底的制备方法以及化学气相沉积方法是由杨峰;刘羊;曹林;王和风;杨雁培;陈杨;冯锡文;符小弟;尹士平设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本化学气相沉积衬底的制备方法以及化学气相沉积方法在说明书摘要公布了：提供一种化学气相沉积衬底的制备方法以及化学气相沉积方法，化学气相沉积衬底的制备方法包括：提供石墨板，表面清洁，石墨板设有间隔开的贯通的多个通孔，通孔的孔径不大于10mm，间距不大于20cm，石墨板的长度方向的尺寸≤2000mm、宽度方向的尺寸≤1000mm、厚度方向的尺寸20‑40mm；提供石墨纸，厚度0.5‑2.0mm；石墨板上刷胶黏剂0.1‑0.5mm；石墨纸平铺到石墨板上；推平石墨纸；从通孔和石墨板的四周排出的胶黏剂清理掉；软垫覆盖石墨纸，板材盖在软垫上，常温静置不少于10h；静置后，将粘贴石墨纸的石墨板取出，修整四周边角；将粘贴石墨纸的石墨板投入高温设备中，在真空或保护气氛条件下，以不高于50℃h加热到200‑600℃，保温不少于3h，保温结束后自然降温，得化学气相沉积衬底。

本发明授权化学气相沉积衬底的制备方法以及化学气相沉积方法在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积衬底的制备方法，其特征在于，包括步骤： S1，提供石墨板1，将石墨板1的表面清洁干净，石墨板1设有在长度方向L和宽度方向W间隔开的且沿厚度方向T贯通的多个通孔11，多个通孔11的孔径不大于10mm，多个通孔11之间的间距不大于20cm，石墨板1的长度方向L的尺寸≤2000mm，石墨板1的宽度方向W的尺寸≤1000mm，石墨板1的厚度方向T的尺寸为20-40mm； S2，提供石墨纸2，石墨纸2的尺寸涵盖石墨板1的上表面，石墨纸2的厚度为0.5-2.0mm； S3，在石墨板1的整个上表面上刷胶黏剂3，胶黏剂3为能够在化学气相沉积中使用的胶，胶黏剂3的厚度为0.1-0.5mm； S4，将石墨纸2平铺到石墨板1上； S5，使用工具推平石墨纸2，将多余的胶黏剂3和气体从石墨板1的通孔11和石墨板1的四周排出； S6，使用刮具将从石墨板1的通孔11和石墨板1的四周排出的多余的胶黏剂3清理掉； S7，使用软垫4整个覆盖粘贴好的石墨纸2，然后用板材5盖在整个软垫4上，常温静置不少于10h； S8，静置结束后，去掉软垫4和板材5，将粘贴石墨纸2的石墨板1取出，沿石墨板1修整四周边角； S9，将粘贴石墨纸2的石墨板1投入到高温设备中做硬化处理，在真空或保护气氛条件下，以不高于50°Ch的升温速度加热到200-600°C，在该温度下保温不少于3h，保温结束后自然降温，从而得到化学气相沉积衬底100。

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