中国原子能科学研究院朱晓锋获国家专利权
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龙图腾网获悉中国原子能科学研究院申请的专利一种适应多种结构形式离子源调试装置及离子源调试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119855031B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510078291.4,技术领域涉及:H05H7/00;该发明授权一种适应多种结构形式离子源调试装置及离子源调试方法是由朱晓锋;张天爵;周洪吉;李鹏展;丁傲轩;汪洋;乐昊;靳昭军设计研发完成,并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适应多种结构形式离子源调试装置及离子源调试方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种适应多种结构形式离子源调试装置及离子源调试方法,该测试装置:上层为离子源和引出系统,中间层为带动离子源做X‑Y方向运动的离子源运动平台、以及带动引出系统做X方向运动和旋转运动的引出系统运动平台;下层为固定托盘;所述离子源为多种结构形式的离子源;该方法包括:在大气环境中进行多种结构形式的离子源和引出电极之间的相互位置和角度的粗调;在真空环境中进行多种结构形式的离子源和引出电极之间的相互位置的细调。本发明可以开展不同种类的离子源测试,包括H离子源、He离子源等,以及不同结构形式的离子源的测试,包括径向插入、轴向插入形式,实现了多种离子源在测试装置上进行独立的测试及优化。
本发明授权一种适应多种结构形式离子源调试装置及离子源调试方法在权利要求书中公布了:1.一种适应多种结构形式离子源的调试装置,该调试装置包括上、中、下三层,上层为离子源1-1和引出系统,所述引出系统为离子源束流引出系统;该引出系统包括引出电极1-2和法拉第筒1-3;中间层为带动离子源1-1做X-Y方向运动的离子源运动平台2-1、以及带动引出系统做X方向运动和旋转运动的引出系统运动平台2-2;下层为固定托盘3,该固定托盘3分别与离子源运动平台2-1的下表面和引出系统运动平台2-2的下表面固接;所述离子源运动平台2-1的X方向和引出系统运动平台的X方向为同一个方向,且离子源运动平台的X-Y方向、引出系统运动平台的X方向固定不变,其特征在于: 所述离子源为多种结构形式的离子源,该多种结构形式的离子源即是:每种离子源的外形结构和内形结构均不同,不同外形结构和内形结构的离子源,其束流引出口相对于所述引出电极1-2的距离不同,其束流引出口缝隙相对于所述引出电极缝隙的对中度不同,其离子源引出口平面相对于所述引出电极平面的平行度不同;该引出系统运动平台2-2用于在大气环境下粗调该多种结构形式的离子源1-1和引出电极1-2之间的间距,并调整引出电极平面和离子源束流引出口平面的平行度;该离子源运动平台2-1用于在真空环境下细调该多种结构形式的离子源1-1和引出电极1-2之间的间距,以及细调离子源束流引出口缝隙和引出电极缝隙的对中度。
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