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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利前道检测设备及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119890085B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411999792.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权前道检测设备及其控制方法是由梁晨锴设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本前道检测设备及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种前道检测设备及其控制方法。该控制方法包括对传送室抽真空达到第一设定时间后，关闭所有气阀，并获得传送室的真空状态；然后，判断传送室的真空状态是否满足预设条件；如满足，则打开至少一个气阀，并继续对传送室抽真空，直至传送室的真空值达到传片真空阈值后，允许打开真空传送阀并将晶圆从传送室传送至主腔室；其中传片真空阈值小于或等于主腔室的设定真空值。相比现有技术在完成对传送室抽真空后进行阈值判断和控制，本发明的控制方法实现的是在对传送室抽真空过程进行控制。从而至少能省去现有抽真空时间中等待时间，甚至还能缩短现有抽真空时间中有效时间的时间长度，进而实现了缩短晶圆前道检测时间的效果。

本发明授权前道检测设备及其控制方法在权利要求书中公布了：1.一种前道检测设备的控制方法，其特征在于， 所述前道检测设备包括用于进行晶圆检测的主腔室，所述主腔室经真空传送阀连接传送室，所述真空传送阀配置成连通或隔断在所述主腔室和所述传送室之间；所述传送室经至少一个气阀连接至少一个抽气泵，至少一个所述抽气泵配置成对所述传送室抽真空；以及， 所述控制方法包括： S100，在所述晶圆处于所述传送室内、且所述真空传送阀关闭的情况下，打开至少一个所述气阀，并在第一设定时间内控制至少一个所述抽气泵持续地对所述传送室抽真空； S200，对所述传送室抽真空达到所述第一设定时间后，关闭所有所述气阀，并获得所述传送室的真空状态； S300，判断所述传送室的真空状态是否满足预设条件； S400，如满足，则打开至少一个所述气阀，并继续对所述传送室抽真空，直至所述传送室的真空值达到传片真空阈值后，允许打开所述真空传送阀并将所述晶圆从所述传送室传送至所述主腔室；其中所述传片真空阈值小于或等于所述主腔室的设定真空值。

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