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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种熔石英高精度表面激光双面抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119897600B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510071242.8，技术领域涉及：B23K26/352；该发明授权一种熔石英高精度表面激光双面抛光方法是由魏朝阳;韩宜池;万嵩林;彭小聪;邵建达设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种熔石英高精度表面激光双面抛光方法在说明书摘要公布了：一种熔石英高精度表面激光双面抛光方法，属于光学元件激光加工技术领域。为了解决熔石英元件在现有激光抛光工艺下产生面形畸变的问题，该方法包括：首先将熔石英元件进行超声清洗并使用压缩空气吹干；通过有限元仿真模拟激光抛光后熔石英形貌分布，优化扫描速度；然后按照优化扫描速度后的工艺参数及加工路径进行目标面的抛光；通过有限元仿真获取激光抛光后熔石英内部温度分布，对不同厚度元件的抛光功率进行优化；再利用优化后的激光功率对目标面的背面进行抛光；激光抛光后再次进行超声清洗及烘干。本发明工艺简单且成本低廉，可显著提升表面面形质量并降低粗糙度，规避了参数交叉实验耗费的时间成本，高效地实现了激光抛光参数的优化。

本发明授权一种熔石英高精度表面激光双面抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种熔石英高精度表面激光双面抛光方法，其特征在于，主要包括以下步骤： S1熔石英表面预处理：将熔石英元件放入去离子水内进行冲洗，然后在温度为20-30℃的纯水中超声10-15分钟，再用去离子水冲洗，最后使用压缩空气吹干，从而获得洁净的熔石英表面； S2目标面扫描速度优化：通过有限元仿真模拟不同扫描速度下CO2激光抛光结果，进而确定最小粗糙度下的扫描速度； S3目标面加工：将熔石英元件放置在移动平台，设定激光抛光参数和扫描路径，并调整抛光起点位置，按照S2步骤设定的扫描速度进行目标面的加工； S4目标面背面抛光功率优化：通过有限元仿真计算不同功率CO2激光抛光后熔石英元件内部热力学温度分布，使得目标面和目标面背面的温度均超过材料的熔融温度，熔融温度为1800K，且低于材料的蒸发温度，蒸发温度为2500K，进而得到元件厚度与激光功率的拟合曲线； S5目标面背面加工：调换激光加工面为目标面的背面，测量元件厚度，按照S4步骤中元件厚度与激光功率的拟合曲线选择激光功率进行抛光，其他抛光参数和扫描路径与S3步骤保持一致； S6熔石英元件超声清洁：先用去离子水冲洗，然后在温度为20-30℃的纯水中超声10-15分钟，再用去离子水冲洗，最后置于超净工作台上烘干，获得超声清洗后的熔石英元件。

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