深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司李学文获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利边缘式钝化真空设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119907335B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510071768.6，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权边缘式钝化真空设备是由李学文;刘兵吉;廖凯;何楷桁设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本边缘式钝化真空设备在说明书摘要公布了：本发明公开了边缘式钝化真空设备，包括：腔体组件，其包括侧面设有炉门的真空反应腔，设置在所述真空反应腔内用于均匀摆放多个料盒的转盘，设置在所述真空反应腔内的转盘四周且与所述真空反应腔相互隔离的废气道；驱动组件，驱动转盘转动；抽气组件；气体组件，其包括与废气道连通的多条径向废气道，设置在径向废气道下方用于进气和匀气的层板结构，所述层板结构上设有与对应径向废气道连通的废气孔；气体组件设置在所述真空反应腔的顶部，与料盒内的太阳能电池片的间距小于等于预设距离；预设距离为使工艺气体进入所述真空反应腔内与所述太阳能电池片的切割面反应后直接进入所述废气孔的距离。本专利可以大批量均匀钝化镀膜。
本发明授权边缘式钝化真空设备在权利要求书中公布了：1.一种边缘式钝化真空设备，其特征在于，包括： 腔体组件，其包括侧面设有炉门的真空反应腔，设置在所述真空反应腔内用于均匀摆放多个料盒的转盘，设置在所述真空反应腔内的转盘四周且与所述真空反应腔相互隔离的废气道； 驱动组件，驱动所述转盘转动； 抽气组件，对所述废气道进行抽气； 气体组件，其包括与所述废气道连通的多条径向废气道，设置在径向废气道下方用于进气和匀气的层板结构，所述层板结构上设有与对应径向废气道连通的废气孔；所述气体组件设置在所述真空反应腔的顶部，与所述料盒内的太阳能电池片的间距小于等于预设距离；所述预设距离为使工艺气体进入所述真空反应腔内与所述太阳能电池片的切割面反应后直接进入所述废气孔的距离，所述预设距离为2-15mm。
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