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龙图腾网获悉湖南大学;湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)申请的专利一种真空磁力辅助纳米压印装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119937240B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510119726.5，技术领域涉及：G03F7/00；该发明授权一种真空磁力辅助纳米压印装置是由张冠华;谢伟;王海鹏;魏东海;段辉高设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空磁力辅助纳米压印装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种真空磁力辅助纳米压印装置，包括支撑单元、定位单元、真空磁力单元，支撑单元包括支撑台和固定块，用于调节压印时下基板的位置；定位单元包括导轨、定位块和滑块，用于调节压印时上软膜基板的位置和保证压印准确度；真空磁力单元包括真空箱及其内外的磁铁，用于维持压印时的真空环境以及提供磁力以控制纳米压印流程启动。本发明利用真空磁力手段辅助纳米压印的进行，能避免常规纳米压印手段在加工高深宽比结构时产生的倒塌、填充不足等结构缺陷，以实现高精度高深宽比结构的可靠纳米压印加工。

本发明授权一种真空磁力辅助纳米压印装置在权利要求书中公布了：1.一种真空磁力辅助纳米压印装置，其特征在于，包括支撑单元、定位单元、真空磁力单元；所述支撑单元的外侧与定位单元的内侧相连接，共同被放置于真空磁力单元的内底面上；所述装置将整个压印过程置于真空环境中，以避免压印时空气气泡导致的结构缺陷产生，同时利用磁力充当真空环境下的压印工作开关和压印动力源；所述装置在工作过程中，通过释放真空磁力单元的磁力开关，借助定位单元和支撑单元确保软模与纳米压印胶对准粘合，并利用磁力将二者紧密压合，实现微结构从软膜到纳米压印胶的转移；其中， 所述支撑单元包括支撑台和固定块；所述固定块放置于支撑台上且侧面重合；所述支撑单元用于调节压印时下基板的位置； 所述定位单元包括导轨、定位块和滑块；所述定位块位于导轨上表面且侧面重合；所述滑块的外侧凸起与导轨、定位块的内壁凹槽重合；所述定位单元在工作过程中，通过定位块将滑块与导轨对准，随后通过释放磁力开关，使滑块在磁力和重力的共同作用下沿着定位块与导轨的凹槽垂直向下运动；所述定位单元用于调节压印时上软膜基板的位置和保证压印准确度； 所述真空磁力单元包括真空箱及其内外的磁铁；所述内外的磁铁分别放置于真空箱上壁的内外侧；所述真空磁力单元在工作过程中，移开真空箱外的磁铁，使内部磁铁与滑块沿导轨垂直向下移动，并最终将软模与带胶基底紧密压合；所述真空磁力单元用于维持压印时的真空环境以及提供磁力以控制纳米压印流程启动。

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