芯恩(青岛)集成电路有限公司吕晓晨获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种喷淋头形变状况监测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119980203B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311480111.2，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种喷淋头形变状况监测装置及方法是由吕晓晨设计研发完成，并于2023-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷淋头形变状况监测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种喷淋头形变状况监测装置及方法，通过对安装状态下的待测喷淋头的喷淋面在弹性挤压力作用下反馈的第一受压信号进行处理，将得到的第一压力分布与基准压力分布相减后得到的第一压力差分布曲线与阈值区间对比，来判断待测喷淋头的喷淋面形变状况是否合格，能够在不拆卸喷淋头的情况下进行无损伤及污染的测量，可避免因人为宏观目检判断带来的误差，便于提高现场故障排除的效率，从而有效防止了晶圆损伤问题的发生。本发明具有结构简单，制作方便，使用稳定性、可靠性高的优点，并可以长期使用，提高了生产效益。
本发明授权一种喷淋头形变状况监测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种喷淋头形变状况监测装置，其特征在于，包括： 压力检测模块，包括叠设的压力检测部和第一弹性部，所述第一弹性部用于以第一表面与安装状态下的待测喷淋头的喷淋面相接触，并以与所述第一表面相对的第二表面与所述压力检测部的第三表面相接触，所述压力检测部设有沿所述第三表面密集分布的多个压力检测单元，所述压力检测单元的检测面与所述第二表面相接触； 驱动控制模块，用于驱动所述压力检测模块向所述待测喷淋头平移一定距离，使所述第一表面与所述待测喷淋头的喷淋面相完全贴合，以使所述压力检测单元感测到所述待测喷淋头的喷淋面上的受压； 数据处理模块，用于对所述压力检测单元输出的第一受压信号进行处理，得到所述待测喷淋头的喷淋面受压时的第一压力分布，并与基准压力分布相减，得到第一压力差分布曲线，用于表征所述待测喷淋头的喷淋面的形变状态，并与阈值区间对比，当所述第一压力差分布曲线位于所述阈值区间内时，判断所述待测喷淋头的喷淋面形变状况为合格，反之，判断所述待测喷淋头的喷淋面形变状况为异常。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励