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龙图腾网获悉科讯工业制造(深圳)有限公司申请的专利一种用于半导体涂胶设备的电动调节阀及其组装方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119982970B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510460468.7，技术领域涉及：F16K17/24；该发明授权一种用于半导体涂胶设备的电动调节阀及其组装方法是由张生洲;张青松设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体涂胶设备的电动调节阀及其组装方法在说明书摘要公布了：涉及一种用于半导体涂胶设备的电动调节阀及其组装方法，电动调节阀包括设于防尘外壳内预先组装有驱动组件与弹力预紧模块的预组内匣、具有半圆环形弧形薄膜部与倒锥型密封凸台用于密封纵向阀口的密封膜片及在纵向阀口下端连接进口流道具有内圆弧球面内的阀座。该电动调节阀通过步进电机驱动调节丝杆旋转以实现膜片连接轴的精确升降运动，弹力预紧模块提供膜片连接轴稳定的预紧力，防尘外壳内冷却空间有效降低步进电机的运行温度，能高精度流体控制的同时具备良好的密封性能和长时使用耐用性。解决现有技术中密封泄漏、流道污染、膜片易损及环境适应性差的问题，实现高精度、长寿命、零污染的流量控制，达到应用于半导体涂胶设备的技术效果。

本发明授权一种用于半导体涂胶设备的电动调节阀及其组装方法在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体涂胶设备的电动调节阀，其特征在于，包括： 预组内匣10，容置在防尘外壳20内，所述预组内匣10预先组装有驱动组件11与弹力预紧模块12；所述驱动组件11包括设置在所述预组内匣10上的步进电机13、设置在所述预组内匣10内的调节丝杆14及膜片连接轴15，所述步进电机13驱动所述调节丝杆14在所述预组内匣10内的旋转，所述膜片连接轴15的第一部位15A导滑地升降移动在所述预组内匣10的中空活动空间；所述弹力预紧模块12的两端分别弹性接触所述膜片连接轴15的第一部位15A与所述预组内匣10在所述中空活动空间的内限位部10A，用于对所述膜片连接轴15施加垂直向下的预紧力；所述预组内匣10与所述防尘外壳20之间形成冷却空间17； 密封膜片30，具有弧形薄膜部31及一体设于中心往下凸出的倒锥型密封凸台32，所述弧形薄膜部31为底部凹陷的半圆环形状，以提供大于有效行程1.2～1.5倍的变形行程；所述密封凸台32的中心连接所述膜片连接轴15由所述预组内匣10突出的第二部位15B； 阀座40，内部开设有纵向阀口41、进口流道42与出口流道43，所述阀座40开设有对准所述纵向阀口41的安装孔44，所述防尘外壳20安装在所述安装孔44上；所述纵向阀口41的下端连接所述进口流道42的内端，所述进口流道42的内端形成为连续平滑的内圆弧球面42A，以形成无死区流道；其中，所述密封凸台32的斜侧壁用于封闭所述纵向阀口41的内壁，所述弧形薄膜部31对准在所述出口流道43内端连通的环槽45上，所述密封凸台32可伸入或脱离所述纵向阀口41； 所述防尘外壳20的外表面开设有通气孔，连通至所述冷却空间17，用于循环冷却所述步进电机13；所述通气孔包括进气孔22与排气孔23，所述防尘外壳20的外表面还开设有接线孔24，以供电连接至所述步进电机13，其中所述接线孔24与所述进气孔22位于所述防尘外壳20的外壳子腔25内，所述排气孔23位于所述防尘外壳20的主体在所述外壳子腔25上方的部位，所述外壳子腔25阻挡由所述进气孔22进入的气流直接吹向所述预组内匣10，形成曲折冷却气道； 所述电动调节阀还包括抗蚀底板50，设置于所述阀座40的底部；通过多个连接杆51结合所述抗蚀底板50、所述阀座40与所述防尘外壳20，多个底板防腐塞52设置于所述抗蚀底板50，并封堵在所述连接杆51的露出端，多个耐腐蚀橡胶圈53分别设置于所述抗蚀底板50的底部以及所述阀座40的底部与所述抗蚀底板50的顶部之间的壳体间隙，所述阀座40与所述防尘外壳20之间安装多层耐腐蚀橡胶圈53并通过快拆卡箍锁紧； 所述预组内匣10内容置有所述调节丝杆14的槽孔内还容置有间隔环16，所述间隔环16间隔在所述调节丝杆14与所述膜片连接轴15之间，所述调节丝杆14的连接部能穿过调节丝杆14的穿孔而连接至膜片连接轴15的第一部位15A，所述间隔环16具体为金属轴承； 所述电动调节阀还包括：多个内接杆26，为定位杆，用于定位所述预组内匣10在所述防尘外壳20内的位置，所述预组内匣10与所述防尘外壳20之间结合借由穿过所述抗蚀底板50与所述阀座40的连接杆51实现；所述膜片连接轴15的第二部位15B由所述预组内匣10的底部突出，以连接所述密封膜片30； 所述密封膜片30的周边夹扣部被夹紧在所述阀座40的安装孔44内的凹槽与所述防尘外壳20的底部凸环之间；在所述防尘外壳20的底部凸环开设有通气槽，提供在所述密封膜片30的所述弧形薄膜部31上方的排通气空间。

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