买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种基于集成光波导的片上加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120009569B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510016935.7，技术领域涉及：G01P15/093；该发明授权一种基于集成光波导的片上加速度计是由刘泽禧;高侃;皮浩洋;孙延光;叶青设计研发完成，并于2025-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于集成光波导的片上加速度计在说明书摘要公布了：一种基于集成光波导的片上加速度计，其透镜光纤与机械结构组件复合，构成基于弹簧‑质量块推挽结构的干涉式光纤传感器。其中，弹簧悬臂梁在蛇形折叠梁的基础上增加了中间竖梁和半圆环状小弯曲梁，连接外部框架和质量块，共同构成弹簧‑质量块振子结构。本发明有效降低了加速度计的交叉轴灵敏度，抑制了交叉轴串扰。质量块包含两个凸型结构，其顶面作为反射面，在加工时溅射一层金属膜以增加反射率。两个模斑转换器与质量块构成的空气腔形成平衡干涉仪结构，采用迈克尔逊干涉仪结合推挽结构设计，进一步提高了灵敏度，可兼容多种解调方案，有效抑制共模噪声。本发明直接在芯片上刻蚀集成光波导作为传感光路，在减少封装尺寸的同时有效抑制了偏振衰落问题。传感光路上高度对称的设计使传感器两臂噪声特性近一致，干涉时大幅降低环境噪声，提高信噪比。该加速度计结构紧凑、制作工艺简单，适用于航天航空等对轻量化和高性能有要求的场景。

本发明授权一种基于集成光波导的片上加速度计在权利要求书中公布了：1.一种基于集成光波导的片上加速度计，包括机械组件1和两根透镜光纤20，其特征在于： 所述机械组件1包括固定底座11和固定在该固定底座11上的加速度传感芯片12；其中，所述固定底座11设有四个用于固定机械组件1的固定螺孔111和一个用于固定透镜光纤20的光纤槽112，且固定底座11的中间位置向下镂空，镂空大小使得所述加速度传感芯片12的弹簧-质量块振子结构悬空，并能够在外界加速度作用下沿着敏感轴方向自由活动；所述的固定螺孔111用于固定安装所述的机械组件1； 所述加速度传感芯片12包括一个整体呈回字型的外部框架121、一个质量块123、两组弹簧悬臂梁122、两个侧方位模斑转换器124、两组相同长度的传输波导125和两个下方位模斑转换器126；所述质量块123周缘对称分布有两个凸型结构1231，该凸型结构1231的顶面作为反射面，将所述侧方位模斑转换器124出射的激光反射并重新耦合到侧方位模斑转换器124中，所述侧方位模斑转换器124和质量块123的凸型结构1231的顶面之间构成两个空气腔，该空气腔的腔长在发生相对位移的质量块123的带动下产生变化，进而导致光程变化；所述传输波导125采用相同长度的对称结构以形成迈克尔逊平衡干涉仪结构，保证两臂所受到的噪声具有相同的特性和来源，呈现出高度的一致性和同步性；所述弹簧悬臂梁122连接所述外部框架121和质量块123共同构成弹簧-质量块振子结构； 所述两根透镜光纤20排紧贴固定在所述光纤槽112内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所，其通讯地址为：201800 上海市嘉定区清河路390号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。