西安电子科技大学毛维获国家专利权
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龙图腾网获悉西安电子科技大学申请的专利垂直氮化镓隧穿功率二极管及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120111904B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510192161.3,技术领域涉及:H10D8/75;该发明授权垂直氮化镓隧穿功率二极管及其制作方法是由毛维;武静;杨翠;张占军;张进成;郝跃设计研发完成,并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本垂直氮化镓隧穿功率二极管及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种垂直氮化镓隧穿功率二极管,主要解决传统垂直氮化镓结型势垒功率二极管无法同时实现开启电压低、导通电流大和击穿电压高的问题,其包括:衬底1、漂移层2、阳极8、阴极9,漂移层的左右两侧设有凹槽3,凹槽的上方依次设有渐变隧穿层4和调制层7;该渐变隧穿层的中间设置有2n‑1个等间隔且大小相同的长方形阵列孔5;该阵列孔内设置有隧穿增强层6,用于提高正向导通电流;该阳极位于调制层的上表面和隧穿增强层的上表面,其与渐变隧穿层形成肖特基接触,与调制层形成欧姆接触,以实现电气连接。本发明降低了开启电压和反向泄漏电流,提高了导通电流和击穿电压,可作为电力电子系统的功率开关器件。
本发明授权垂直氮化镓隧穿功率二极管及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种垂直氮化镓隧穿功率二极管,包括:衬底1、漂移层2、阳极8、阴极9,漂移层2的左右两侧设有凹槽3,其特征在于: 所述凹槽3的上方依次设有渐变隧穿层4和调制层7,该渐变隧穿层4的中间设置有2n-1个等间隔且大小相同的长方形阵列孔5,该阵列孔5内设置有隧穿增强层6,用于提高正向导通电流;其中n是阵列孔5自边缘至中心处的个数; 所述阳极8位于所述调制层7的上表面和隧穿增强层6的上表面,用于实现电气连接; 所述渐变隧穿层4采用Al组分自下向上逐渐增大的AlGaN材料; 所述隧穿增强层6采用Ta2O5、ZrO2、HfO2、TiO2中的任意一种介电常数大于AlGaN材料的高K介质材料; 所述调制层7采用P型NiO材料。
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