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龙图腾网获悉兆滕科技(无锡)有限公司申请的专利一种CVD晶圆镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120158724B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510418163.X，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种CVD晶圆镀膜设备是由孙德兆;刘超;潘小波;黄东设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种CVD晶圆镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明涉及CVD晶圆镀膜技术领域，公开了一种CVD晶圆镀膜设备，包括安装单元、传动单元和锁止单元，安装单元包括工作箱，工作箱底部四周固定安装有支撑腿，四个支撑腿两两之间相互对称，工作箱相对的两侧壁均设置有拉门，工作箱内腔设置有第一滑动机构，工作箱上方设置有防护壳，工作箱内腔设置有两个相互对称的晶圆本体。本发明，在对晶圆本体镀膜结束的时候，上安装板和下安装板能够带动上镀膜筒和下镀膜筒进行复位，而此时的晶圆本体将能够位于下镀膜筒内腔，从而在下镀膜筒移动到最底部的时候，便于工作人员将镀膜完毕的晶圆本体取出，因此一定程度上能够避免镀膜后的晶圆本体出现划伤的情况。

本发明授权一种CVD晶圆镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种CVD晶圆镀膜设备，包括安装单元100、传动单元200和锁止单元300，其特征在于： 所述安装单元100包括工作箱101，所述工作箱101底部四周固定安装有支撑腿1012，四个所述支撑腿1012两两之间相互对称，所述工作箱101相对的两侧壁均设置有拉门1011，所述工作箱101内腔设置有第一滑动机构，所述工作箱101上方设置有防护壳102，所述工作箱101内腔设置有两个相互对称的晶圆本体105； 所述传动单元200包括伺服电机201，所述伺服电机201设置在防护壳102内腔，所述伺服电机201输出端固定安装有第一螺纹杆2011，所述第一螺纹杆2011活动贯穿于工作箱101，所述第一螺纹杆2011远离伺服电机201的一端固定安装有第二螺纹杆2013，所述第二螺纹杆2013远离第一螺纹杆2011的一端设置有第一轴承2015，所述第一轴承2015安装在工作箱101底部，所述第一螺纹杆2011和第二螺纹杆2013的螺向相反，所述第一螺纹杆2011和第二螺纹杆2013上分别啮合安装有第一螺纹套管2012和第二螺纹套管2014，所述第一螺纹套管2012和第二螺纹套管2014上活动贯穿有两个相互对称的导向杆2016，两个所述导向杆2016两端分别固定连接在工作箱101内腔相对的两侧壁，述第一螺纹套管2012和第二螺纹套管2014上分别固定安装有固定杆202，四个所述固定杆202两两之间相互对称，四个所述固定杆202分别远离第一螺纹套管2012和第二螺纹套管2014的一端固定连接有上安装板2021和下安装板2023，两个所述上安装板2021和下安装板2023相互对称，两个所述上安装板2021和下安装板2023上分别贯穿安装有上镀膜筒2022和下镀膜筒2024，两个所述上镀膜筒2022和下镀膜筒2024相互对称，两个所述上镀膜筒2022和下镀膜筒2024相对的一侧壁均设置有两个放置板203，四个所述放置板203两两之间相互对称，四个所述放置板203两两相对的一侧壁均设置有连接板2031，四个所述连接板2031两两之间相互对称，四个所述连接板2031上均设置有活动机构； 所述第一滑动机构包括多个第一滑槽103，每个所述第一滑槽103分别开设在工作箱101内腔相对的两侧壁，每个所述第一滑槽103内腔均滑动安装有两个相互对称的滑杆1031，每个所述滑杆1031两两之间远离第一滑槽103的一端分别固定连接有连接板2031，每个所述放置板203两两之间相对的一侧壁均开设有矩形槽口2033，每个所述矩形槽口2033内腔均设置有转杆2035，每个所述转杆2035两端分别设置有第二轴承2034，且第二轴承2034分别安装在矩形槽口2033内腔相对的两侧壁，每个所述转杆2035上均套接安装有清理辊2036； 所述锁止单元300包括两个第一夹持板301和第二夹持板3011，两个所述第一夹持板301和第二夹持板3011两两之间相互对称，两个所述第一夹持板301和第二夹持板3011相对的一侧分别设置有两个插接杆302和两个插接筒3021，每个所述插接杆302分别和插接筒3021相互契合，每个所述插接杆302上均开设有插接槽口3022，每个所述插接筒3021内腔均设置有第二滑动机构，每个所述插接筒3021内腔上方均固定安装有放置筒304，每个所述放置筒304内腔均设置有第三滑动机构，所述第三滑动机构上安装有移动板3043，每个所述移动板3043上方均固定安装有第二复位弹簧3044，且第二复位弹簧3044另一端固定连接在放置筒304内腔上方，每个所述移动板3043底部均固定安装有限位杆3045，每个所述限位杆3045分别契合插接在插接槽口3022内腔，每个所述放置筒304外侧壁均设置有移动机构，两个所述第二夹持板3011一侧壁固定安装有安装支架104，两个所述安装支架104相互对称，两个所述安装支架104另一端固定连接在工作箱101内壁。

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