青岛思锐智能科技股份有限公司姜仁学获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利离子注入机的引束方法、装置、离子注入设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120164769B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510381373.6,技术领域涉及:H01J37/317;该发明授权离子注入机的引束方法、装置、离子注入设备及存储介质是由姜仁学;王博喜;张喻召;郑春海;张丛设计研发完成,并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入机的引束方法、装置、离子注入设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请提供了一种离子注入机的引束方法、装置、离子注入设备及存储介质,涉及一般的控制和调节系统领域,该方法包括:获取新建束流的目标输入参数目标输入参数包括目标掺杂离子类型、目标束流能量和目标注入流强;基于目标输入参数从历史数据库中查找历史束流信息,历史束流信息中的历史掺杂离子类型与目标掺杂离子类型相同;基于历史束流信息和目标输入参数对新建束流的束流信息进行补充,得到新建束流的初始束流信息;基于初始束流信息进行引束流程,以得到新建束流指示的工作离子束。该方法能够提高离子注入设备新建束流的效率。
本发明授权离子注入机的引束方法、装置、离子注入设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种离子注入机的引束方法,其特征在于,所述方法包括: 获取新建束流的目标输入参数,所述目标输入参数包括目标掺杂离子类型、目标束流能量和目标注入流强; 基于所述目标输入参数从历史数据库中查找历史束流信息,所述历史束流信息中的历史掺杂离子类型与所述目标掺杂离子类型相同; 基于所述历史束流信息和所述目标输入参数对所述新建束流的束流信息进行补充,得到所述新建束流的初始束流信息; 基于所述初始束流信息进行引束流程,以得到所述新建束流指示的工作离子束; 其中,所述基于所述历史束流信息和所述目标输入参数对所述新建束流的束流信息进行补充,得到所述新建束流的初始束流信息,包括: 基于所述目标输入参数中的所述目标掺杂离子类型,确定所述新建束流对应的目标掺杂气体类型; 基于所述历史束流信息中的历史注入流强、历史束流传输效率和历史掺杂气体流量,确定所述新建束流所需的初始掺杂气体流量; 基于所述历史束流信息,确定所述离子注入机的初始调节参数; 基于所述目标输入参数,确定所述离子注入机中质量分析器的第一初始电流值以及平行透镜的第二初始电流值; 基于所述目标掺杂气体类型、所述目标束流能量、所述目标注入流强、所述初始掺杂气体流量、所述初始调节参数、所述第一初始电流值和所述第二初始电流值,确定所述新建束流的所述初始束流信息。
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