安徽越好电子装备有限公司江嘉获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽越好电子装备有限公司申请的专利真空中转室及磁控溅射镀膜系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120400783B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510918945.X,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权真空中转室及磁控溅射镀膜系统是由江嘉;徐建柱;俞峰;黄俊凯;沈纬徵设计研发完成,并于2025-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空中转室及磁控溅射镀膜系统在说明书摘要公布了:本申请公开一种真空中转室及磁控溅射镀膜系统。真空中转室包括由顶壁、底壁和侧壁围成的真空腔室,以及可绕一竖直轴线转动安装在所述真空腔室内的换向架,所述换向架与所述顶壁和底壁枢转连接,所述侧壁上设置有对准所述换向架的工件转移口,所述真空腔室的外部设置有第一密封组件,所述第一密封组件包括第一动环和第一静环,所述第一静环和顶壁或底壁固定连接,所述第一动环通过联轴器与所述换向架连接,所述联轴器具有吸收轴向活动余量的弹性部。本申请提供的真空中转室在抽真空后能够通过弹性的联轴器吸收轴向活动余量,保证换向架在真空状态下的正常使用,实现工件的稳定换向。
本发明授权真空中转室及磁控溅射镀膜系统在权利要求书中公布了:1.真空中转室,包括由顶壁、底壁和侧壁围成的真空腔室,以及绕一竖直轴线转动安装在所述真空腔室内的换向架,所述换向架与所述顶壁和底壁枢转连接,所述侧壁上设置有对准所述换向架的工件转移口,其特征在于,所述真空腔室的外部设置有第一密封组件,所述第一密封组件包括第一动环和第一静环,所述第一静环和顶壁或底壁固定连接,所述第一动环通过联轴器与所述换向架连接,所述联轴器具有吸收轴向活动余量的弹性部; 所述弹性部包括波纹管,所述弹性部与所述第一动环连接; 所述联轴器包括延长段,所述延长段的一端与所述弹性部连接,另一端与所述换向架连接。
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