广东玉洲铜业科技有限公司黄宏振获国家专利权
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龙图腾网获悉广东玉洲铜业科技有限公司申请的专利一种铜合金表面化学抛光液及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120591789B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510766339.0,技术领域涉及:C23F3/06;该发明授权一种铜合金表面化学抛光液及其制备方法是由黄宏振;黄宏亮设计研发完成,并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铜合金表面化学抛光液及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种铜合金表面化学抛光液及其制备方法,属于化学机械抛光技术领域;本发明通过对络合剂氨基酸进行改性,显著提高了改性后的络合剂的配位强度和环境稳定性,解决了氨基酸类络合剂在酸性条件下易被质子化影响配位活性的问题,并通过将该络合剂接枝在二氧化硅磨粒表面,利用空间位阻和同种电荷之间的排斥作用,抑制纳米二氧化硅的团聚和铜合金表面对纳米二氧化硅磨粒的吸附作用,降低磨粒对铜合金表面的机械损伤和颗粒附着风险,制备得到的化学抛光液能够兼顾抛光速率和抛面平整度。
本发明授权一种铜合金表面化学抛光液及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种铜合金表面化学抛光液,其特征在于,包含如下质量组分:0.01~0.1%表面活性剂、2~5%过氧化氢、0.01~0.5%缓蚀剂、8~12%改性纳米二氧化硅、余量为水,pH值为3~5; 其中,所述改性纳米二氧化硅由以下步骤制成: 将4-氯甲基苯基异氰酸酯、氨基酸、二环己基碳二亚胺用N,N-二甲基甲酰胺溶解后控制温度40~80℃进行反应得到改性氨基酸络合剂,再将硅烷偶联剂XH-119接枝在纳米二氧化硅表面得到表面接枝纳米二氧化硅,最后将表面接枝纳米二氧化硅、改性氨基酸络合剂、N,N-二甲基甲酰胺混合并控制温度40~60℃进行反应得到改性纳米二氧化硅; 其中,所述硅烷偶联剂XH-119为N,N-二乙基-3-氨丙基三甲氧基硅烷;4-氯甲基苯基异氰酸酯、氨基酸、二环己基碳二亚胺的质量份数比为15.1~16.7:7.5~8.9:20.6~24.8,表面接枝纳米二氧化硅、改性氨基酸络合剂、N,N-二甲基甲酰胺的质量份数比为8~12:8~16:40~80。
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