浙江大学庞凯获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种微压传感器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120628411B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511130300.6,技术领域涉及:G01L9/00;该发明授权一种微压传感器件及其制备方法是由庞凯;李陈洋;温煦;高超设计研发完成,并于2025-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微压传感器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及功能材料技术领域,特别涉及一种微压传感器件及其制备方法。现有基于石墨烯的风压传感器多数采用面状电极或简单叠层结构,存在方向响应一致性差、灵敏度分布不均、机械稳定性不足。本发明提供一种微压传感器件,在第一方向上,所述微压传感器件包括依次设置的柔性封装层、传感层、硅胶层和柔性印刷电路板,第一方向为由所述柔性封装层指向所述柔性印刷电路板的方向,所述传感层采用单层微穹顶结构石墨烯纳米膜气凝胶制成。通过将单层孔结构石墨烯纳米膜气凝胶作为传感层,纳米级的壁厚可以实现其超灵敏的风速感知。
本发明授权一种微压传感器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种微压传感器件,其特征在于,在第一方向上,所述微压传感器件包括依次设置的柔性封装层、传感层、硅胶层和柔性印刷电路板,第一方向为由所述柔性封装层指向所述柔性印刷电路板的方向,所述传感层采用单层微穹顶结构石墨烯纳米膜气凝胶制成;所述单层微穹顶结构石墨烯纳米膜气凝胶制备包括选取氧化度均匀的氧化石墨烯分散液涂布于基底上组装成超薄氧化石墨烯纳米膜,待所述超薄氧化石墨烯纳米膜干燥后置于发泡剂中发泡,使得所述超薄单层氧化石墨烯纳米膜与所述基底之间产生微气泡,以至超薄氧化石墨烯纳米膜与所述基底剥离并发泡形成单层微穹顶结构氧化石墨烯纳米膜气凝胶,将所述单层微穹顶结构氧化石墨烯纳米膜气凝胶转移至有机溶剂中进行浸泡置换去除所述发泡剂得到洁净单层微穹顶结构氧化石墨烯纳米膜气凝胶,待所述洁净单层微穹顶结构氧化石墨烯纳米膜气凝胶干燥后进行化学还原修复石墨烯纳米膜气凝胶微观结构得到单层微穹顶结构还原氧化石墨烯纳米膜气凝胶,对所述单层微穹顶结构还原氧化石墨烯纳米膜气凝胶进行热处理得到单层微穹顶结构石墨烯纳米膜气凝胶。
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