北京锐洁机器人科技有限公司董纯洁获国家专利权
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龙图腾网获悉北京锐洁机器人科技有限公司申请的专利一种驱动器锁存晶圆位置的自动学习方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120680530B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511170790.2,技术领域涉及:B25J9/16;该发明授权一种驱动器锁存晶圆位置的自动学习方法及系统是由董纯洁;刘冬梅;王强;王勇设计研发完成,并于2025-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种驱动器锁存晶圆位置的自动学习方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种驱动器锁存晶圆位置的自动学习方法及系统,涉及晶圆位置领域。该方法具体公开了在晶圆盒的第一层和任意选取的多层分别放置正常状态的晶圆;通过上下往复移动感应晶圆盒每层的晶圆触发信号;每层的晶圆触发信号作为探针信号通过驱动器锁存;定期读取每层的晶圆触发信号;根据读取的第一层的晶圆触发信号计算出每一层的晶圆位置;对每一层的晶圆位置施加上下偏移量作为每层的正常晶圆扫描区间;根据每一层的晶圆触发信号,计算出晶圆盒相应层的晶圆片厚,经过对比得到最大晶圆片厚和最小晶圆片厚;最大晶圆片厚至最小晶圆片厚作为正常晶圆片厚区间;本发明能够实现Mapping应用的自动学习过程。
本发明授权一种驱动器锁存晶圆位置的自动学习方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种驱动器锁存晶圆位置的自动学习方法,其特征在于,包括: 在晶圆盒的第一层和任意选取的多层分别放置正常状态的晶圆; 通过上下往复移动感应晶圆盒每层的晶圆触发信号,具体包括:通过机械手在晶圆盒的竖直方向上的匀速往复运动时,通过机械手上安装的传感器感应到每层的由晶圆触发时产生的ON信号,或者无晶圆触发时产生的OFF信号;每层的所述晶圆触发信号作为探针信号通过驱动器锁存,具体包括:驱动器将所述每层的所述ON信号和所述OFF信号作为探针信号锁存到Z轴电机编码器的位置; 定期读取所述每层的所述晶圆触发信号,具体包括:CPU通过EtherCAT总线定期读取所述驱动器锁存的一系列ON信号和OFF信号;根据读取的第一层的晶圆触发信号计算出每一层的晶圆位置,统计每一层晶圆的上下偏移量;对所述每一层的晶圆位置施加上下偏移量作为每层的正常晶圆扫描区间; 根据每一层的晶圆触发信号,计算出晶圆盒相应层的晶圆片厚,具体包括:根据所述驱动器锁存的每个ON信号的时间以及传感器的移动速度,计算出相应层的晶圆片厚;经过对比得到最大晶圆片厚和最小晶圆片厚;所述最大晶圆片厚至所述最小晶圆片厚作为正常晶圆片厚区间。
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