上海果纳半导体技术有限公司詹东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利晶圆存放装置及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120709205B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511200007.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆存放装置及检测方法是由詹东;朱绍琦;葛敬昌;薛增辉;张胜森;张欢;叶莹设计研发完成，并于2025-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆存放装置及检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆存放装置及检测方法。本发明的晶圆存放装置包括存储架和第一检测部，存储架包括上下间隔布置的多组支撑，每组支撑包括第一支撑和第二支撑，第一支撑和第二支撑形成适于放置晶圆的放置位并将晶圆在第二水平方向的两侧悬空；第一检测部设于晶圆悬空的一侧，第一检测部包括发射传感器和接收传感器组，接收传感器组包括沿第二水平方向布置且与晶圆的大小型号一一对应的多个接收端一，发射传感器射向多个接收端一的光线与放置位所在的平面的交点位于第一支撑和第二支撑之间。
本发明授权晶圆存放装置及检测方法在权利要求书中公布了：1.晶圆存放装置，其特征在于，包括： 存储架，其包括上下间隔布置的多组支撑，每组支撑包括沿第一水平方向相对设置的第一支撑和第二支撑，所述第一支撑和所述第二支撑形成适于放置晶圆的放置位并将所述晶圆在第二水平方向的两侧悬空； 第一检测部，所述第一检测部设于所述晶圆悬空的一侧，所述第一检测部包括发射传感器和接收传感器组，所述接收传感器组包括沿所述第二水平方向布置且与所述晶圆的大小型号一一对应的多个接收端一，所述发射传感器与所述晶圆相切的光线经过所述晶圆相对应的所述接收端一和与其相邻且远离所述晶圆的所述接收端一的中间区域，所述发射传感器射向多个所述接收端一的光线与所述放置位所在的平面的交点位于所述第一支撑和所述第二支撑之间, 相邻两组所述第一检测部在所述第一水平方向上相对，所述发射传感器和所述接收端一交错设置在所述存储架的左右两侧。
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