上海果纳半导体技术有限公司詹东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆存放装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120727623B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511200026.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆存放装置是由詹东;朱绍琦;葛敬昌;薛增辉;张胜森;张欢;叶莹设计研发完成，并于2025-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆存放装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆存放装置，能存储M种尺寸的晶圆，M为大于等于2的整数，晶圆存放装置包括存储架和检测机构，存储架包括位于前方的开口和沿上下方向等距布置有多组支撑组件，支撑组件包括固定在存储架左右方向两个侧壁上的第一支撑块、第二支撑块和固定在存储架后壁上的第三支撑块。检测机构包括固定在存储架且沿上下方向分布的至少一组传感器组件，每组传感器组件用于检测相邻两个支撑组件上承载的晶圆的有无尺寸判断，各个传感器组件的检测区域不重合。晶圆存放装置能存放不同尺寸的晶圆，并通过检测机构准确判断晶圆的尺寸，避免机械手对不同尺寸的晶圆搬运错误。
本发明授权一种晶圆存放装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆存放装置，能存储M种尺寸的晶圆，M≥2，其特征在于：所述晶圆存放装置包括： 存储架，包括位于前方的开口和沿上下方向等距布置有多组支撑组件，所述支撑组件包括固定在所述存储架左右方向两个侧板上的第一支撑块、第二支撑块和固定在所述存储架后板上的第三支撑块； 检测机构，包括固定在所述存储架且沿上下方向分布的至少一组传感器组件，每组所述传感器组件用于检测相邻两个所述支撑组件上承载的所述晶圆； 每组所述传感器组件均包括位于第三支撑块左右两侧的传感器发射端和接收部，所述传感器发射端位于对应检测的两片所述晶圆之间，相邻两个所述传感器组件的所述接收部错位布置，所述接收部包括位于对应检测的两片所述晶圆中上方所述晶圆上方的上接收部和位于下方所述晶圆下方的下接收部，所述上接收部和所述下接收部均包括M个传感器接收端，M个所述传感器接收端和M种尺寸的所述晶圆一一对应。
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