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龙图腾网获悉北京华林嘉业科技有限公司申请的专利一种慢排液装置及半导体基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120749048B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511271459.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种慢排液装置及半导体基板处理设备是由徐鹏飞;侯丽丽;郭生钢;王强;耿彪设计研发完成，并于2025-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种慢排液装置及半导体基板处理设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体湿法制程设备技术领域，尤其是涉及一种慢排液装置及半导体基板处理设备。本发明提供的慢排液装置包括：干燥容器和清洗液进出管路系统；干燥容器包括内容器和外容器，外容器连接于内容器的顶部外壁，且与内容器的外壁围成溢流收集结构；清洗液进出管路系统包括进液管、慢速排放流路、内槽排液管和外槽排液管，进液管连接于内容器，慢速排放流路连接于内容器和外容器，内槽排液管连接于内容器，外槽排液管连接于外容器。内容器慢排液时，内容器内的清洗液通过慢速排放流路向上排至溢流收集结构内，有效抵消重力对排水速率的直接影响，同时清洗液通过慢速排放流路进入外容器时，由于清洗液不会充满外容器，有效避免虹吸现象。

本发明授权一种慢排液装置及半导体基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种慢排液装置，用于半导体基板处理设备，其特征在于，所述慢排液装置包括：干燥容器2、连接于所述干燥容器2的清洗液进出管路系统和液位计7； 所述干燥容器2包括内容器21和外容器22，所述外容器22连接于所述内容器21的顶部外壁，且与所述内容器21的外壁围成溢流收集结构221，以使所述内容器21内溢流出的清洗液流入所述溢流收集结构221； 所述清洗液进出管路系统包括进液管212、慢速排放流路5、内槽排液管213和外槽排液管222，所述进液管212连接于所述内容器21，且用于向所述内容器21内注入清洗液，所述慢速排放流路5连接于所述内容器21和所述外容器22，且用于将所述内容器21内的清洗液排至所述溢流收集结构221，所述内槽排液管213连接于所述内容器21，且用于将所述内容器21内的清洗液排出，所述外槽排液管222连接于所述外容器22，且用于将所述溢流收集结构221内的清洗液排出； 所述液位计7设置于所述内容器21内，且包括与提供气体的供气管36连接的气压传导部件71和与控制器电连接的压差检测组件72，所述气压传导部件71的出气端位于所述内容器21底部，所述压差检测组件72设置于所述气压传导部件71上，控制器通过所述压差检测组件72检测所述内容器21内清洗液的液面上方与所述气压传导部件71的出气端之间的压差以获取所述内容器21内清洗液的液位； 所述慢速排放流路5连接有第二泵51、第一阀门52和排液流量计53，所述第二泵51和所述排液流量计53均电连接于所述控制器，以使所述控制器根据所述排液流量计53对慢速排放流路5内液体流速的信号反馈控制所述第二泵51的流量； 所述内容器21内的清洗液通过所述慢速排放流路5向上排至所述溢流收集结构221内，有效抵消重力对排水速率的直接影响； 所述进液管212设置于所述内容器21内，且位于所述内容器21的底部。

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