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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利一种晶圆存放装置的晶圆检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120749051B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511200010.4，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种晶圆存放装置的晶圆检测方法是由詹东;朱绍琦;葛敬昌;薛增辉;张胜森;张欢;叶莹设计研发完成，并于2025-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆存放装置的晶圆检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了用于晶圆存放装置的晶圆检测方法，晶圆存放装置能存储大晶圆和小晶圆两种规格的晶圆，方法包括机械手将待测晶圆放置在第n层承载组件上时，与第n层承载组件对应的第n个传感器发射端朝向对应的第n个传感器接收端发出第一光线。若第n个传感器接收端没有接收到第n个传感器发射端发出的第一光线，待测晶圆为大晶圆。否则，关闭第n个传感器发射端，位于第n个传感器发射端上方且与其相邻的第n+1个传感器发射端朝向第n个传感器接收端发出第二光线。若第n个传感器接收端没有接收到第n+1个传感器发射端发出的第二光线，待测晶圆为小晶圆，否则第n层承载组件上没有放置待测晶圆。方法能对晶圆的有无和规格进行快速判断。

本发明授权一种晶圆存放装置的晶圆检测方法在权利要求书中公布了：1.用于晶圆存放装置的晶圆检测方法，其特征在于：所述晶圆存放装置包括存储架，所述存储架能存储大晶圆和小晶圆两种规格的晶圆，所述存储架包括沿上下方向均匀分布的M个承载组件，M≥1，所述晶圆存储装置还包括位于待测晶圆两侧的M个传感器接收端和M+1个传感器发射端，M个所述传感器接收端和M+1个所述传感器发射端均在上下方向等距分布，M个所述传感器接收端、自下而上的M个传感器发射端和M个所述承载组件一一对应；所述检测方法包括： 机械手自下而上将所述待测晶圆依次放置在所述存储架内； 所述机械手将所述待测晶圆放置在第n层所述承载组件上时，与第n层所述承载组件对应的第n个所述传感器发射端朝向对应的第n个所述传感器接收端发出第一光线，n≤M； 若第n个所述传感器接收端没有接收到第n个所述传感器发射端发出的第一光线，所述待测晶圆为大晶圆； 否则，关闭第n个所述传感器发射端，位于第n个所述传感器发射端上方且与其相邻的第n+1个所述传感器发射端朝向第n个传感器接收端发出第二光线； 若第n个所述传感器接收端没有接收到第n+1个所述传感器发射端发出的第二光线，所述待测晶圆为小晶圆，否则第n层所述承载组件上没有放置所述待测晶圆。

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