上海果纳半导体技术有限公司詹东获国家专利权
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龙图腾网获悉上海果纳半导体技术有限公司申请的专利晶圆存放装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120749052B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511200012.3，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权晶圆存放装置是由詹东;朱绍琦;葛敬昌;薛增辉;张胜森;张欢;叶莹设计研发完成，并于2025-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆存放装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆存放装置，包括存储架，在存储架间隔设有多组支撑，每组支撑的设有放置位，还包括：第一检测部，其沿晶圆厚度方向可移动地设置，第一检测部包括发射端一和接收端一，发射端一和接收端一分别靠近存储架的相异的侧壁设置，接收端一有多个，多个接收端一与晶圆的大小型号一一对应，发射端一穿过发射端一相邻的放置位所在的平面向多个接收端一发射光线，发射端一与晶圆相切的光线经过晶圆相对应的接收端一和与其相邻且远离晶圆的所述接收端一的中间区域；判断部，在发射端一移动至相邻放置位之间的检测范围时，判断部根据多个接收端一发射的是否被遮挡的电信号判断被光线穿过的放置位所在的晶圆的有无和晶圆的大小。
本发明授权晶圆存放装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆存放装置，其特征在于，包括存储架，在所述存储架间隔设有多组支撑，每组支撑的承载面形成放置晶圆的放置位，还包括： 第一检测部，其沿所述晶圆厚度方向可移动地设置，所述第一检测部包括发射端一和接收端一，所述发射端一和所述接收端一分别靠近所述存储架的相异的侧壁设置，所述接收端一有多个，多个所述接收端一与所述晶圆的大小型号一一对应，所述发射端一穿过所述发射端一相邻的所述放置位所在的平面向多个所述接收端一发射光线，所述发射端一与所述晶圆相切的光线经过所述晶圆相对应的所述接收端一和与其相邻且远离所述晶圆的所述接收端一的中间区域； 判断部，在所述发射端一移动至相邻所述放置位之间的检测范围时，所述判断部根据多个所述接收端一是否被遮挡的电信号判断被光线穿过的所述放置位所在的晶圆的有无和所述晶圆的大小。
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