湖北鼎龙芯盛科技有限公司;鼎龙(潜江)新材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司徐枫获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北鼎龙芯盛科技有限公司;鼎龙(潜江)新材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司申请的专利光致产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120757484B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511246222.6，技术领域涉及：C07D209/48；该发明授权光致产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法是由徐枫;苏敏光;王鹏;刘敏设计研发完成，并于2025-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本光致产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种光致产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法，涉及光刻材料技术领域。该光致产酸剂具有结构式1所表示的通式，1结构式1中，a为1或2；X为‑CO‑，与其两侧形成五元环的二甲酰亚胺，或者X为‑CH2CO‑，与其两侧形成六元环的二甲酰亚胺；Y与其右侧的碳原子一同形成C6~C10单环式饱和脂肪族烃环、C6~C14桥环、C6~14芳香环。该光致产酸剂在抗蚀剂组合物中能够提升抗蚀剂膜图案的LER性能，改善抗蚀剂膜的显影缺陷。
本发明授权光致产酸剂、抗蚀剂组合物及图案形成方法在权利要求书中公布了：1.一种光致产酸剂，其特征在于，包括：所述光致产酸剂具有结构式1所表示的通式， 所述结构式1中，a为1或2； R1为全氟取代丁基、三氟甲基、十三氟己基、十七氟辛基、2,2,2三氟乙基、1,1-二氟乙基、1,1-二氟丙基、1,1,2,2-四氟丙基、3,3,3-三氟丙基、2,2,3,3,3-五氟丙基、降冰片烷基四氟乙基、金刚烷-1,1,2,2-四氟丙基； X为-CO-，与其两侧形成五元环二甲酰亚胺，Y与其右侧的两个碳原子一同形成C6～C8单环式饱和脂肪族烃环、C6～C10桥环，或者，X为-CH2CO-，与其两侧形成六元环二甲酰亚胺，Y与其右侧的三个碳原子一同形成C6～C10桥环。
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