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龙图腾网获悉歌尔光学科技有限公司申请的专利晶圆涂覆系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120767234B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511278857.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆涂覆系统及方法是由高旭;宋慧设计研发完成，并于2025-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆涂覆系统及方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆涂覆系统及方法，晶圆涂覆系统包括晶圆搬运装置、承载结构和供料组件，晶圆搬运装置包括基座和活动设置于基座的多个夹爪，基座与多个夹爪围设形成容纳晶圆的容纳空间，多个夹爪间隔铰接于基座的外缘，多个夹爪能够转动以相互靠近或相互远离，夹爪面向容纳空间的一侧设置有用于吸附晶圆的真空吸附件；吸附孔包括第一子孔和设置于第一子孔外围的第二子孔，承载结构还包括第一真空发生器和第二真空发生器，第一子孔与第一真空发生器连通，第二子孔与第二真空发生器连通。该发明尤其适用于对厚度较大的晶圆的搬运，具有能够减小晶圆掉落风险的优点。

本发明授权晶圆涂覆系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆涂覆系统，其特征在于，所述晶圆涂覆系统包括晶圆搬运装置、承载结构和供料组件，所述晶圆搬运装包括基座和活动设置于所述基座的多个夹爪，所述基座与多个所述夹爪围设形成容纳晶圆的容纳空间，多个所述夹爪间隔铰接于所述基座的外缘，多个所述夹爪能够转动以相互靠近或相互远离，所述夹爪面向所述容纳空间的一侧设置有用于吸附所述晶圆的真空吸附件； 所述夹爪包括相互连接的连接段和支撑段，所述连接段远离所述支撑段的一端与所述基座铰接，所述支撑段朝向所述容纳空间延伸设置，所述真空吸附件设置于所述支撑段朝向所述容纳空间的一侧；所述支撑段朝向所述真空吸附件的一侧设置有第一压力传感器，所述连接段面向所述容纳空间的一侧设置有第二压力传感器； 所述承载结构包括旋转件和与所述旋转件传动连接的吸盘，所述吸盘上设置有吸附孔，所述供料组件用于供给涂料；所述吸附孔包括第一子孔和设置于所述第一子孔外围的第二子孔，所述承载结构还包括第一真空发生器和第二真空发生器，所述第一子孔与所述第一真空发生器连通，所述第二子孔与所述第二真空发生器连通； 所述晶圆涂覆系统还包括校正机构，所述校正机构包括第一调节组件和第二调节组件，所述第一调节组件包括第一活动支架和与所述第一活动支架连接的第一调节块，所述第一调节块上设置有第一仿形槽；所述第二调节组件包括第二活动支架和与所述第二活动支架连接的第二调节块，所述第二调节块上设置有第二仿形槽，所述第一仿形槽和所述第二仿形槽限定出用于夹取所述晶圆的夹持空间。

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