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龙图腾网获悉江苏派莱特光电科技有限公司申请的专利一种用于磁控溅射镀膜机的抽真空设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120818807B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511315917.5，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权一种用于磁控溅射镀膜机的抽真空设备是由张巍;李明;朱嘉琦;王凯;杨磊;高岗;马帅;朱九菊;刘年生;唐欢欢设计研发完成，并于2025-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于磁控溅射镀膜机的抽真空设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于磁控溅射镀膜机的抽真空设备，包括：主体单元，其包括镀膜机本体以及固定连接在镀膜机本体下表面的支撑座，所述镀膜机本体下表面固定连接有L形座；本发明利用冷却轴杆，使盛放盘配合放置板对产品进行放置或直接进行悬挂处理，使设备在工作时，利用转动电机驱动冷却轴杆进行转动，使设备在溅射过程中更好地对产品表面进行镀膜处理，进一步，利用设备转动时产生的离心力，使U形滑动板在U形架内向外部进行移动，从而使清洁板向外凸出，并同时利用缓冲弹簧的弹性势能抵消设备工作时产生的离心力，进而使放置T形块过度位移，从而在一定程度上防止内部产品与镀膜机本体发生碰撞，从而在一定程度上提高对设备保护处理。

本发明授权一种用于磁控溅射镀膜机的抽真空设备在权利要求书中公布了：1.一种用于磁控溅射镀膜机的抽真空设备，其特征在于，所述磁控溅射镀膜机的抽真空设备包括： 主体单元100，其包括镀膜机本体101以及固定连接在镀膜机本体101下表面的支撑座106，所述镀膜机本体101下表面固定连接有L形座103，且L形座103下表面固定连接有垫杆，所述镀膜机本体101下表面通过机座固定连接有转动电机102； 转动放置单元200，其包括镀膜机本体101内固定连接有磁环201以及固定连接在镀膜机本体101内的轴环202，所述轴环202内转动连接有冷却轴杆203，所述冷却轴杆203内开设有第一冷却槽208，所述冷却轴杆203外表面固定连接有叶板207，所述叶板207内通过螺栓固定连接有盛放盘206，所述盛放盘206内开设有第二冷却槽220，且第一冷却槽208和第二冷却槽220相互连通，所述盛放盘206外表面卡合连接有承重杆210，所述承重杆210下表面固定连接有衔接环204，且衔接环204下表面不与半圆形防护框104内表面相接触，所述盛放盘206上表面固定连接导轨框212，所述导轨框212内滑动连接有T形块214，所述T形块214上表面固定连接有放置板213，所述T形块214一端固定连接有复位弹簧215，所述复位弹簧215另一端固定连接在导轨框212内表面一侧，所述半圆形防护框104内表面固定连接有靶材激发板205，且靶材激发板205一侧不与橡胶密封框架105相接触，所述承重杆210一侧卡合连接有U形架219，所述U形架219内滑动连接有U形滑动板218，所述U形滑动板218和U形架219之间固定连接有若干缓冲弹簧217，所述U形滑动板218内通过插合块216卡合连接有清洁板211，所述镀膜机本体101远离半圆形防护框104的一侧固定连接有离子室209； 间歇抽取单元300，其包括镀膜机本体101内固定连接有分隔板303以及固定连接在L形座103上表面的气体存放箱301，所述分隔板303数量为两组，且两组分隔板303均关于镀膜机本体101中心对称，所述分隔板303一侧通过机座固定连接有伺服电机304，所述分隔板303一侧开设有转动槽314，所述分隔板303内开设有偏转槽312，密封板302转动连接在转动槽314内。

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