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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利外延生长控制方法、装置、计算机设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120830152B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511340088.6，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权外延生长控制方法、装置、计算机设备及存储介质是由张黎明;刘新阳;邢陈陈;宣光濮;赵静辉设计研发完成，并于2025-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本外延生长控制方法、装置、计算机设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种外延生长控制方法、装置、计算机设备及存储介质，本申请采用超连续谱激光光源对待测晶圆和参考照射面的表面进行照射获取反射光信号；对反射光信号进行同步扫描与滤波，以输出两路窄带光；将两路窄带光转换为电信号后进行差分运算，根据差分结果计算得到待测晶圆的反射率；基于反射率确定外延层的生长参数，并根据生长参数调整反应腔的工艺参数，以控制待测晶圆的外延生长。本申请的超连续谱激光光源可在一个工艺步骤内扫描多个特征波长，实现了多生长参数的同步监测，满足了复杂外延结构的监测需求；此外双光束差分测量技术实时消除了测量过程中的共模噪声，大幅提升了信噪比，提高了测量精度，实现了外延生长的精准控制。

本发明授权外延生长控制方法、装置、计算机设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种外延生长控制方法，其特征在于，所述方法包括: 获取反射光信号，其中，所述反射光信号包括测量光信号和参考光信号，所述测量光信号是由外延生长过程中的待测晶圆表面反射预设光源生成的，所述参考光信号是参考照射面反射所述预设光源生成的，所述预设光源为超连续谱激光光源；所述预设光源按照预设比例被划分为测量光束和参考光束，所述测量光束垂直照射至待测晶圆表面，所述参考光束照射至参考照射面； 对所述测量光信号和所述参考光信号进行同步扫描与滤波，以在任一时刻输出中心波长相同的第一窄带光与第二窄带光； 将所述第一窄带光和所述第二窄带光转换为电信号后进行差分运算，以抑制共模噪声，并根据差分运算结果计算得到所述待测晶圆的反射率；其中，差分运算的步骤包括：将所述第一窄带光、所述第二窄带光分别转换为对应的第一电信号、第二电信号；对所述第一电信号和所述第二电信号进行同步解调，得到第一锁相信号和第二锁相信号；基于预先标定的通道匹配参数对所述第二锁相信号配平后与所述第一锁相信号进行差分运算，得到差分运算结果； 基于所述反射率确定外延层的生长参数，并根据所述生长参数调整反应腔的工艺参数，以控制所述待测晶圆的外延生长。

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