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龙图腾网获悉爱利彼半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种表面瑕疵检测设备及用于半导体加热盘的检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120831358B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511292651.7，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种表面瑕疵检测设备及用于半导体加热盘的检测方法是由赵哲龙;黎力波设计研发完成，并于2025-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种表面瑕疵检测设备及用于半导体加热盘的检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及表面形变检测设备技术领域，具体是涉及一种表面瑕疵检测设备及用于半导体加热盘的检测方法，包括底座和检测单元；在底座上设置有沿竖直方向移动的支撑单元，支撑单元的上端用于承接加热盘，检测单元包括设置在底座上方的罩壳，罩壳的上部竖直设置有摄像头，摄像头竖直贯穿罩壳，罩壳为半球形壳体结构，罩壳的下部开设有供加热盘进入其内部的开口，在罩壳内围绕罩壳的轴线转动设置有打光单元，打光单元包括围绕罩壳的轴线转动的弧形导轨，在弧形导轨上沿弧形导轨的延伸方向移动设置有驱动座，驱动座朝向罩壳内侧的一端上设置有投射灯，投射灯的投射方向始终指向罩壳圆心。本发明提高了检测结果的准确性。

本发明授权一种表面瑕疵检测设备及用于半导体加热盘的检测方法在权利要求书中公布了：1.一种表面瑕疵检测设备，包括底座1和设置在底座1上方的检测单元3； 其特征在于，在底座1上设置有沿竖直方向移动的支撑单元2，支撑单元2的上端用于承接加热盘4，检测单元3包括设置在底座1上方的罩壳32，罩壳32的上部竖直设置有摄像头31，摄像头31竖直贯穿罩壳32，罩壳32为半球形壳体结构，罩壳32的下部开设有供加热盘4进入其内部的开口，在罩壳32内围绕罩壳32的轴线转动设置有打光单元33，打光单元33包括围绕罩壳32的轴线转动的弧形导轨331，在弧形导轨331上沿弧形导轨331的延伸方向移动设置有驱动座332，驱动座332和弧形导轨331共同构成弧形滑台，驱动座332朝向罩壳32内侧的一端上设置有投射灯333，投射灯333的投射方向始终指向罩壳32圆心，在检测时，支撑单元2将罩壳32底部的开口密封，支撑单元2和罩壳32形成检测腔，罩壳32的底部与底座1的上端之间存有供加热盘4进入支撑单元2上端的空隙；在底座1内设置有定位单元25，定位单元25包括定位壳251，定位壳251的上部开口大于定位壳251的下部开口，在定位壳251的内壁上环绕套设有充气膜252，充气膜252与定位壳251的内壁之间形成充气腔，充气腔为环形结构，在定位壳251上设置有与充气腔连通的第一气泵253，第一气泵253按照额定频率对充气腔进行抽吸。

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