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龙图腾网获悉奈米科学仪器装备(杭州)有限公司申请的专利一种正视与透射测量兼容且光路焦距自动可调适应不同厚度的双面套刻测量系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120831882B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511317368.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种正视与透射测量兼容且光路焦距自动可调适应不同厚度的双面套刻测量系统及方法是由刘志平;刘马超;李星星设计研发完成，并于2025-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种正视与透射测量兼容且光路焦距自动可调适应不同厚度的双面套刻测量系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种正视与透射测量兼容且光路焦距自动可调适应不同厚度的双面套刻测量系统及方法，该方法包括：步骤1、布置光源和晶圆：步骤2、判断晶圆的厚度，如其厚度小于设定值，则执行步骤3，否则执行步骤4至步骤5；步骤3、开启透射光源，红外相机把晶圆的上层标记MARK、晶圆下层的标记MARK同时拍摄在一张图片上；步骤4、获取晶圆的上层标记MARK对应的图像A：将红外光射入正射光入口，之后红外相机将晶圆的上层标记MARK拍摄在图像A上；步骤5、获取晶圆的下层标记MARK对应的图像B。本发明可根据晶圆厚度选择不同的对准测量方法，其对准精度高。

本发明授权一种正视与透射测量兼容且光路焦距自动可调适应不同厚度的双面套刻测量系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种正视与透射测量兼容且光路焦距自动可调适应不同厚度的双面套刻测量方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1、布置光源和晶圆： 在载物台1的上方布置成像光路单元2，所述成像光路单元2包括红外相机22和正射光入口21； 在载物台1的下方布置透射光源3；所述透射光源3正对载物台1的中空区域； 将晶圆放置于载物台1，晶圆覆盖中空区域； 所述载物台1为中空结构，其具有Z向自由度； 步骤2、判断晶圆的厚度，如其厚度小于设定值，则执行步骤3，否则执行步骤4至步骤5； 步骤3、开启透射光源3，红外相机22把晶圆的上层标记MARK、晶圆的下层标记MARK同时拍摄在一张图片上； 步骤4、获取晶圆的上层标记MARK对应的图像A： 将红外光射入正射光入口21，之后红外相机22将晶圆的上层标记MARK拍摄在图像A上； 步骤5、获取晶圆的下层标记MARK对应的图像B： 步骤5A、沿Z向调节载物台1使得晶圆的下表面与红外相机22、透射光源3共焦； 步骤5B、红外相机22将下层标记MARK拍摄在图像B上。

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