柯尔微电子装备(厦门)有限公司吴祖生获国家专利权
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龙图腾网获悉柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利晶圆透膜检测的取放方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120834063B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511325034.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权晶圆透膜检测的取放方法及装置是由吴祖生;郑隆结;孙会民设计研发完成，并于2025-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆透膜检测的取放方法及装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种晶圆透膜检测的取放方法及装置，属于半导体检测技术领域，取放方法包括：在晶圆透膜检测前，在检测平台上注入透明液体，并将晶圆放置于所述透明液体上，使晶圆背面与检测平台之间形成液膜；以及在晶圆透膜检测后，向晶圆边缘与检测平台之间的区域施加液体，并抬升晶圆，直至晶圆与检测平台分离。取放装置，用于执行晶圆透膜检测的取放方法，取放装置包括：检测平台，检测平台用于承载晶圆；以及至少两个升降机构，分别设置于所述检测平台的相对两侧，并用于驱动所述晶圆的两端升降移动，以将晶圆放置于所述检测平台或将晶圆从检测平台抬升。
本发明授权晶圆透膜检测的取放方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆透膜检测的取放装置，其特征在于，包括： 检测平台，所述检测平台用于承载晶圆；以及 至少两个升降机构，分别设置于所述检测平台的相对两侧，并用于驱动所述晶圆的两端升降移动，以将晶圆放置于所述检测平台或将晶圆从检测平台抬升， 其中，所述检测平台包括：平台主体，所述平台主体设置有安装口；透明板，所述透明板固定设置于所述安装口内侧，用于通过透明液体与晶圆之间形成液膜；以及防水圈，所述防水圈呈环形，并密封连接于所述平台主体的上表面，所述防水圈环绕所述透明板设置，以在所述平台主体及透明板的上表面形成容纳液体的注水槽， 其中，所述透明板的外壁与所述安装口的内壁之间形成环形水槽，所述环形水槽环绕所述透明板设置，并设置有注水孔和抽水孔；所述透明板的上表面与所述安装口的内壁之间形成环形出水间隙，所述出水间隙与环形水槽连通，且所述出水间隙、环形水槽及透明板具有共同的中心轴线。
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